硅微陀螺仪的机械耦合误差分析.pdfVIP

第16卷第5期 光学精密工程 Vol-16No．5 Precision and 2008年5月 0ptics Engineering Mav2008 文章编号1004—924X(2008)05—0894-05 硅微陀螺仪的机械耦合误差分析 施 芹，裘安萍，苏 岩，朱欣华 (南京理工大学机械工程学院，江苏南京210094) 摘要：研究了硅微陀螺仪机械耦合误差的产生机理。以。轴硅微陀螺仪为研究对象，以动力学方程和矩阵理论为基础， 分析了由于加工非理想性产生的不等弹性、阻尼不对称和质量不平衡产生误差的信号，建立了机械耦合误差信号的数学 模型，并定量分析了z轴硅微陀螺仪样品的机械耦合误差信号。结果表明，机械耦合误差信号包含了正交耦合误差和与 有用信号同相位的误差信号，其中正交耦合误差为主要误差信号，且主要由不等弹性产生。最后，测试了。轴硅微陀螺 仪的正交耦合误差信号为342．5