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* 第一章 真空技术基础 (薄膜与真空) 1.1 真空的基本知识 1.2 稀薄气体的基本性质 1.3 真空的获得 1.4 真空的测量 1.1 真空的基本知识 真空：低于一个大气压的气体空间。 自然真空：宇宙空间所自然存在的 人为真空：人类利用真空泵抽取所获得的 绝对真空：完全没有气体的空间状态 相对真空：气体稀薄，分子数较少的状态 气体分子数密度 大气压下 P = 105 Pa， 高真空下 P = 10-11 Pa， 1 1.013 ×103 760 1.013 × 105 1atm 9.87× 10-4 1 0.75 100 1mba 1.316 ×10-3 1.333 1 133.3 1Torr 9.87× 10-6 1× 10-2 7.5×10-3 1 1Pa 标准大气压 毫巴/mbar 托/Torr 帕/Pa 单位 真空（压强）单位 真空度和压强 压强越低，真空度越高；压强越高，真空度越低。 国际单位：帕斯卡（Pascal） Pa 常用单位：托（Torr） 毫米汞柱（mmHg） 巴（bar） 标准大气压（atm） 1.1 真空的基本知识 粗真空: 1x105 － 1x102 Pa （粘滞流） 真空干燥、真空浸渍 低真空: 1x102 － 1x10-1 Pa （过渡状态）