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Twyman-Green干涉实验学院： 专业： 年级：实验者： 合作者： 组别：日期： 星期五下午【实验目的】了解激光干涉测量，及其数字干涉技术的原理、方法、特点和应用场合。掌握微米和亚微米量级位移量的激光干涉测量方法及应用场合。实测一个平面光学零件的表面形貌。了解光学系统波差PSF及调制传递函数MTF的基本物理概念。掌握利用干涉法测量波差，求MTF的基本方法，及PSF、MTF的评价方法。【实验仪器】激光器、反射镜、物镜、半反射镜、成像透镜、CMOS光电探测器、波差测试试件。【实验原理】精密位移量的激光干涉测量方法本实验采用Twyman-Green干涉仪是著名的迈克尔逊白光干涉仪的变形。与后者相比，它具有以下特点：它使用两列平面波进行干涉，相干得到等厚干涉条纹Twyman-Green干涉仪只能使用单色光源。Twyman-Green干涉仪的参考光束和测试光束经过成像透镜聚焦后，受光阑限制，观察者的位置固定。利用Twyman-Green干涉仪可以研究反射或透射光学元件的表面形貌或波面形状，其原理图如图1所示为了研究反射物表面形貌或其与标准平面镜的偏差，将反射物放在干涉仪的一支光路上。本实验用He-Ne激光器做光源。激光通过扩束准直系统形成