常压辉光放电的建立及其特性试验研究①-电晕机电晕处理机低温.PDF

( ) 第 19 卷 第 2 期 佳 木 斯 大 学 学 报 自 然 科 学 版 Vol. 19 No. 2 2001 年 6 月 Journa l of J iam usi Un iversity (Na tura l Sc ience Ed ition ) June. 2001 ( ) 文章编号: 1008- 1402 2001 02- 0125- 05 常压辉光放电的建立及其特性实验研究① 史庆军, 　 顾　彪, 　 邓　祥 (大连理工大学电气工程与应用电子技术系, 辽宁 大连 116023 ) 摘　要: 　常压辉光放电( ) 是新近发展起来的一种等离子体源, 与低气压辉光放电相比更具有 A PGD 工业应用前景. 本文详细介绍我们实验室在大气压条件下建立的均匀稳定、介质垒控制的辉光放电等离子 体发生装置. 该放电发生器采用频率为 10kH z 和 20kH z 高压电源, 平板电极结构, 电极覆盖绝缘层, 间隙 2～ 3 , 可在多种气体环境下稳定运行. 放电电流波形和电压- 电荷李萨如图形的测量充分表明它确实 mm 是常压下的均匀辉光放电. 关键词: 　气体放电; 常压辉光放电( ) ; 等离子体 A PGD 中图分类号: 　 461; 　 531　　　 文献标示码: 　 O O A 0　问题的提出 近一、二十年来, 气体放电在微电子技术、激光、材料的改性和合成等高新技术的发展中起着相当重要 的作用. 外加电场可以有效地把能量直接传递给反应体系中的气体原子, 促使气体被击穿和电离, 是人们广泛 采用的一种直接、有效获得等离子体的方法. 迄今, 人们在实验室和生产实践中研究了各种各样的气体放 电形式. 典型的气体放电形式及参数如表 1 所示. 表 1　典型的气体放电种类及其相关参数[ 1 ], [ 2 ] 类别 气压 电子浓度 电子平均能量 气体温度 电场强度 P ( ) n ( - 3) ( ) T (K) E ( ) To rr e cm ev g V cm 弧光放电 100 14 ～ 1 4 20 10 ～ 10 辉光放电 100 9 12 2～ 8 2 50～ 10000 10 ～ 10 ～ 7 ×10 电晕放电