实际加工表面红外激光散射特性的试验研究-物理学报.PDF

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 24 (2013) 244201 实际加工表面红外激光散射特性的实验研究* † 朱元庆 曲兴华 张福民 陶会荣 ( 天津大学, 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072 ) ( 2013 年7 月10 日收到; 2013 年9 月9 日收到修改稿) 为了研究激光在实际加工表面的散射特性, 利用分辨率为10 nW 的激光功率计PM100D, 波长为1550 nm 的激 光器和精密转台, 自行设计并搭建了半球空间中目标表面散射特性的测量系统. 以典型的刨床加工的若干标准粗糙 度比较样块为被测目标, 在1550 nm 红外激光以不同方位照射下, 测量了微观具有V 形槽结构的不同粗糙度的样块 表面的散射功率分布. 实验结果转换成双向反射分布函数后, 对比分析了入射光方位、入射角和表面粗糙度对此类 典型表面散射特性的影响, 并分析了特殊散射场形成的原因. 结果表明, 表面纹理、入射角以及粗糙度均对目标表 面的散射特性有规律性影响, 这一结果对于具有规律性加工纹理表面的散射特性的研究和建模有一定的参考价值, 对激光技术在实际加工表面的应用研究提供了一定的基础. 关键词: 散射特性, 双向反射分布函数, 红外激光, 实际加工表面 PACS: 42.68.Mj, 06.30.−k DOI: 10.7498/aps.62.244201 集中在随机粗糙面散射特性研究11−13 . 实际上, 各 1 引言 类机械加工形成的表面都具有一定规律的表面纹 理, 例如刨床、铣床加工的表面具有V 形槽形状的 电磁波(光波) 在物体表面的散射特性一直是 纹理, 对这种具有一定规律纹理的表面散射特性还 遥感探测、隐身技术、机器视觉等领域的重要研 少有研究. 因此本文通过典型的刨床加工的表面粗 究课题 1−5 . 然而由于激光波长远小于实际表面 糙度样板在 1550 nm 的红外激光照射下的散射分 微观尺度, 表面微观形貌直接影响着散射场的大 布特性实验测量, 分析V 形槽表面纹理、粗糙度等 小与分布, 加上表面散射机理不明朗, 使得物体表 特征与散射场分布形态的关系, 并分析特殊散射场 面散射特性目前仍未得出清晰明确的结果. 目前对 形成的原因, 这一结果对于激光在实际加工表面散 射特性的分析和建模具有重要意义, 对于利用激光 于散射特性的研究方法主要有两大类, 一类从麦克 散射特性来进行此类表面特征提取、跟踪、识别、 斯韦方程组出发, 根据目标表面特性的不同确定相 探测等实际问题有应用价值. 应的边界条件, 从而求解出散射场, 为了计算, 通常 根据不同的需要将实际表面理想化为较简单的表 2 样块表面双向反射分布函数测量 面进行近似求解, 例如基尔霍夫近似法、几何光学 法、微扰法等, 主要应用于一维随机粗糙面散射研 2.1 测量原理 究6−10 ; 另一类更常用的研究方法是基于实验的 研究, 通过实验直接获得表面散射场分布, 从而进 在实验研究目标表面反射特性时通常使用双 行建模或者分析表面散射特性, 实验研究能真实、 向反射分布