集成电路设计实践3教材.pdf

六六、、基础知识基础知识 版图的基本概念版图的基本概念 CMOS工艺中的元件 版图设计规则版图设计规则 版图设计准则 1 版图结构版图结构 集成电路加工的平面工艺集成电路加工的平面工艺 制 加 版 版 工 工 芯片的剖面结构 从平面工艺到立体结构， 需多层掩膜版需多层掩膜版，故版图故版图 是分层次的，由多层图 形叠加而成形叠加而成 ！！ 2 一个简单的例子 个简单的例子 VddVdd outout GndGnd 版版 图 in metal1 ploy contact Si3N4 FOX 剖 N ＋ P ＋ P ＋ N ＋ NN ＋＋ P ＋ NN-阱阱 面 NN-阱阱 图P-substrate P管 源漏区 N管 源漏区 3 N-well active N-implant P-implant ppolyy contact 版图分层处理方法版图分层处理方法 metal1 4 版图的层版图的层 N-well active P+ implant N+ implant poly1poly1 metal1metal1 contact viavia metal2metal2 Vdd out Gnd in 5 版图流程版图流程 Vdd out Gnd in 栅 栅氧 Si3N4 FOX 剖 N ＋ P ＋ P ＋ N ＋ NN ＋＋ P ＋ NN-阱阱 面 NN-阱阱 图P-substrate P管 源漏区 N管 源漏区 6 硅栅硅栅CMOSCMOS工艺版图和工艺的关系工艺版