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半导体固体背散射探测器形貌 （TOPO ）模式的假象 编辑作者：驰奔 背散射电子是扫描电镜一个非常重要的成像信号，可表现材料原子序数反差，一定的形貌 反差及晶体结构反差。当前用户接触最多的背散射电子探测器是半导体固体型。 这种探测器的优点，体积小占用样品室内空间小，价格较为便宜，能够在低真空下使用。 对于注重材料成分，对形貌不太关注的研究项目，例如地质矿物研究，刑侦物证分析、钢铁夹 杂等,很多样品往往经过抛光处理，消除样品表面形貌。经常配合X 射线能谱仪使用，是常用 的探测器， 半导体探测器晶体常常是环形对称，信号及探测器系统分析表明，一体的探测晶体倾向于 消除形貌反差，增强成分 Z 反差,这也是背散射探测器最大的使用价值。最早的研究者经过理 论分析，认为将探测器晶体进行分割然后对称的探测信号进行代数运算，可消除成分Z 反差， 突出形貌反差, 各种实验研究表明，确实如此,但通过信号重构样品形貌也存在一些人为假象， 需要特别注意。 首先来看一下同一样品分别在se 模式、bse 成分模式，bse 形貌模式效果。 北京驰奔仪器有限公司 北京市海淀区志新路16 号38 号楼530 室 邮编：100083 电话：010传真：010 网址： Email：market@ 北京驰奔仪器有限公司 北京市海淀区志新路16 号38 号楼530 室 邮编：100083 电话：010传真：010 网址： Email：market@ 以上多种样品背散射电子探测器的形貌模式、成分模式和二次电子图像的比较显示有较大差异。其中最有 意义的对比观察是二次电子形貌像和材料成分反差像。而背散射的形貌（TOPO ）模式则显得不真实。那么， 这种缺陷来源为何？ 有研究者做了如下实验： 分别使用两份割，四分割固体探测器，对如右图的十字交叉的沟槽和放射状沟槽进行TOPO 模式观察。结果 如下。 两分割的探测器，会出现明显的成像缺陷，平行于探测器放置轴向方向沟槽没有重构形貌细节，有明显假 象。这时，对称的两个探测器获的BSE 信号相似，通过信号相减，降低了形貌反差，造成假象。 北京驰奔仪器有限公司 北京市海淀区志新路16 号38 号楼530 室 邮编：100083 电话：010传真：010 网址： Email：market@ 四分割的探测器，(D2-D1)+(D6-D5) ,十字交叉沟槽没有明显假象，而放射沟槽某个区域出现明显假象。（D1-D2） +(D5-D6),则放射性沟槽的阴影发生反转，此时凹槽看似凸起，而且存在形貌减弱的假象。 由此我们似乎可以得出一定的结论：背散射探测器的最大价值是Z 反差模式，和 SE 形貌模式对照观察是 有意义的比较研究。而多象限的固体背散射探测器的TOPO （形貌）模式，存在假象，不能替代SE 探测器 的形貌观察。二次电子探测器对于扫描电子显微镜形貌成像是不可或缺的。 以下是SE 形貌图像和bse 成分像对比观察。 北京驰奔仪器有限公司 北京市海淀区志新路16 号38 号楼530 室 邮编：100083 电话：010传真：010 网址： Email：market@ 背散射探测器成分模式，明显消除了表面形貌。 背散射探测器图像显示类似表面起伏的反差，在SE 图像中观察不到，实际上是电子通道反差，而不是形貌 反差。 SE 图像和Bse 成分像。 边缘为低原子序数背散射图像，显得模糊。 原子序数反差极大的样品，基底材料原子序数低，背散射图像突出高Z 成分。 北京驰奔仪器有限公司 北京市海淀区志新路16 号38 号楼530 室 邮编：100083 电话：010传真：010 网址： Email：market@ 边缘原子序数高的样品，背散射图像对比度清晰，表面形貌无法正确表征。 原子序数接近的样品。背散射图像形貌细节全无 BSE 成分Compo 模式 和BSE 形貌TOPO 模式。形貌像一定注意不可思议的假象，还有很多假象不太好分辨。 本文只做钨灯丝扫描电镜样品室探测器的探讨，不包括场发射扫描电镜尤其是In-Lens 探测器的比较研究。 图片来自网络。 北京驰奔仪器有限公司