半导体厂多点测试方案.pdfVIP

HALTechnology CJ－FMS200 专业型 多点洁净度检测系统解决方案 一、系统简介 自动多点净化检测系统是我公司联合美国好尔实验室（HAL Technology ） 共同开发的高科技产品。它采用分散式多点采样，集中式数据处理的监测手 段，大幅度提高了净化环境的监测质量和水平。能够实现“7×24”（每周 7 天，每天 24 小时）实时监测，是目前国际净化系统自动监测的最新潮流。 系统所用粒子计数器核心部件是由中美技术合作—“单粒子传感器”和 DSP 电路组成。其计数效率及准确度都堪称世界一流。 二、系统结构框图及基本工作原理 系统结构框图 粒子计数器探头 HUB JR-45 接口 JR-45 接口 粒子计数器探头 净化车间(室) 川 嘉 电 子 有 限 公 司 1 C H A N G E R E L E C T R O N I C S HALTechnology 工作原理 计算机控制各个粒子计数器探头的工作状态。一般情况下每组测量需进行 5 次采样。每次测量 1 分钟，间隔 1 分钟。每次测量结果包括 2～6 种粒径的数 量以及环境湿/温度（选项）和测量时间。所有测量数据都存储在探头内，测量 完成后，计算机再从各个探头提取数据，然后进行分析、处理、绘制洁净度平 面分布图。全部历史数据可随时按需求进行查询、统计、分析、打印。测量结 果超限时，会立即报警，并在洁净度平面图上显示超限位置。 三、基本功能 自动监测：按照设置的时间间隔、测量次数、自动启动时间等参数，自动完 成测量操作、收集数据、分析结果。 手动测量：临时需要或系统自检时，需要进行手动测量。 分析结果：对测量结果的数据，可以进行实时分析，也能够进行历史对比分 析并打印结果(日报表、月报表、洁净度平面图等) 超限报警：可以设定各个测量点的报警限值。超限时，计算机音响系统发声 报警，显示屏的洁净度平面图超限点变色报警，超限点的数据变色。 记录数据：所有测量结果都以数据库文件保存。 四、方案优势 传统的净化监测，实际上是人工检测，一切都必须由操作人员进入净化区 域实施操作。自动多点净化监测系统彻底改变了传统的净化检测方式，主要有 以下几大优势： 国际领先水平：经过不懈的努力，川嘉公司已成为美国好尔实验室在亚 太地区唯一的“单粒子传感器”研发、生产基地。 实时远程监测：检测人员无需进入净化区（室），从而保证监测结果的 真实性。 川 嘉 电 子 有 限 公 司 2 C H A N G E R E L E C T R O N I C S