真空技术基金会（三）.pptVIP

Fundamentals of Vacuum Techniques（III）;Main Content;Adsorption of Gas (吸附);2、Basal Principle of Adsorption 吸附是真空技术中非常重要的问题，只要涉及的是气体与固体表面的相互作用。 被吸附的气体分子叫做吸附质，吸附气体分子的固体叫吸附剂。 吸附是固体物质的通性，但是有些物质的吸附能力特别强，如活性炭、硅胶、活性氧化铝、分子筛、金属钛、金属锆和金属钡等。 吸附现象在真空技术中要辨证地看待。;吸附产生的机理大致说就是由于固体表面附件的力场存在，它对于与其碰撞的气体分子而言扮演着一个势阱（Potential trap）的角色。 吸附剂与吸附质中间作用力分类两种：范德瓦尔斯力和化学键力。 范德瓦尔斯力源于电偶极子，强度随距离6次方衰减； 化学键力源于吸附剂与吸附质之间的电子交换，有离子键和共价键的区分； ;吸附的过程： 分子以 能量与固体表面碰撞，以一定的几率 落入范德瓦尔斯势阱 ，放出一部分热量（吸附热）。 被捕获的分子以一定几率穿越势垒 （化学吸附活化能）落入更深的势阱，放出较大的能量（化学吸附热）。 物理吸附与温度负相关，化学吸附与温度正相关。;毫屈题涪佑竞夫瓷淫糜洲爱腆嘛分减翱利殖蹦荚聘侨才暗财党召际吼鼓丫真空技术基金会（三）真空技术基金会（三