真空系统组件和连接.ppt

真空系统元件及连接板津命片第腕;真空系统元件及连接真空系统是由;一、真空阀门一、真空阀门???;1、开关电路。如图13-1，当;真空阀的分类和型号真空阀门的主;表1 真空阀门分类分类方法 名;真空阀门的型号按如下顺序和内容;真空阀门的工作形式1、隔膜阀图;2、真空球阀13-4为真空球阀;3、真空蝶阀蝶阀结构较简单，阀;气动蝶阀主要有阀体、阀板、阀杆;4、插板阀图13-7和13-8;5、挡板阀右图为一种挡板阀的结;6、翻板阀下图为三种不同结构的;真空挡板阀和翻板阀在操作使用时;7、电磁阀采用磁力驱动方式的真;电磁阀也可设计成带有充气作用的;8、针阀超高真空针阀结构如图。;9、超高真空阀通常的高、低真空;图为超高真空阀门的一种，其主要;上图是典型的玻璃真空活塞。活塞;10、无油玻璃真空阀为避免真空;图13-19为玻璃磨口密封的无;阀门密封结构1、胶垫密封结构橡;选择真空阀门密封结构的注意事项;影响密封垫填塞阀座表面不平程度;2、金属垫密封结构图13-21;堂宋着值鼻眺逃岂慷翔荚宁款臂裴;3、阀板密封压紧装置A 阀板压;B 常用压紧方式（1）螺旋压紧;（2）斜面压紧 。如图13-2;（3）链板压紧。梨早挟骸鸥懈锯;（4）弹簧压紧。如图13-13;（5）弹性垫圈自身压紧。如图1;（6）动力压紧动力压紧方式有气;C 压紧装置中的均压、续压和调;嗣假展讽讼啮命喧潞蚁北典白鲁志;真空阀门的密封动