微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究3.PDF

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　机械传动 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　1998 年 38 微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究 河南机电高等专科学校 　任泰安 郑 州 工 业 大 学 　秦东晨 　祁建中 摘要 　本文研究了在紫外光光刻条件下用微细加工方法研制微型齿轮的加工工艺 ,对加工过程进 行了分析 ,加工水平已达到准L IGA 水平 。 关键词 　微型齿轮 　微细加工 　光刻 ) 　　引言 蚀法和电化学腐蚀法 。由于温度 、浓度 、重掺杂层等 八十年代后期 , 国际高技术领域中出现了一个新 因素的影响 ,微结构中往往会形成较大的内应力而不 兴技术 ———微机械技术 。一些先进工业国家开始致力 能得到所需的厚度和陡直度 。表面微加工技术是指以 于微观技术的研究 ,研制越来越小的机械 ,特别是航空 硅片为衬底 ,通过溅射或淀积等方式形成多层薄膜图 航天工程 、医学工程和生物工程等技术的发展 ,各种微 形 ,再把下面的牺牲层材料刻蚀掉 ,保留上面结构图形 型机械的研制和应用 日益受到重视 ,我国正在开展对 的加工方法 。表面微加工技术可 以加工具有活动构 这项高新技术的研究 。 件 、形状复杂的微结构 ,但只能加工纵深比不大的薄膜 微型齿轮是微机械中的常用零件 ,在微型机电系 结构 ,一般多晶硅膜的厚度最多达到十几微米 。除了 统中有着广泛的应用 。为了满足一定的机械性能要 以上几种微机械加工技术外 ,其他一些微机械加工技 求 ,微型齿轮必须有一定的深宽比, 同时具有良好的加 术正处于研究阶段 。 工陡直度 ,这就需要三维加工 。目前 , 国际常用的微机 本文利用半导体加工技术中比较成熟的镀膜技术 械加工技术主要有微细加工技术 、超微细加工技术 、 和干法刻蚀技术进行微型齿轮的加工 ,该微型齿轮具 L IGA 工艺技术 、光成型法 、微细孔电火花加工 、超精密 有较大的深宽比。 机械加工技术等 。 1 　微型齿轮加工工艺 微细加工技术是用于制造尺寸为亚微米至纳米级 ( 对于微型齿轮的加工 ,本文采用以下制造工艺过 的零件 、元器件和薄膜图形的加工方法 如 ,微型传感 ( ) 器 、微型制动器都可以用光刻或化学腐蚀技术加工而 程 如图 1 。 ) 成 。光刻或化学腐蚀技术在大规模集成电路中有着 广泛的应用 ,但大部分集成电路的加工属于二维的刻 蚀方法 。 L IGA 工艺技术是由原西德卡尔斯鲁厄研究中心 研究的微机械加工技术 ,它把深层同步辐射 X 射线光 刻 、电铸成型和铸塑 3 个过程结合起来 ,进行准三维结 构的加工 。L IGA 工艺能够完成具有较高的深宽比及 以小于 1 微米的精度进行数百微米至 1 毫米微构件的 加工 。该工艺可加工多种材料 ,如金属 、陶瓷 、玻璃和 塑料及这些材料的结合物等 ,突破了半导体加工技术 对材料和深度的限制 。目前 , 国外已利用 L IGA 工艺 加工出许多微型器件 ,如微型涡轮 、微型加速度计 、微 型电机 、微型泵等 。但 , 由于 L IGA 工艺需要使用 X 射 线同步辐射光源 ,故价格昂贵 ,其应用受一定的限制 。 微细加工技术中的半导体加工技术应用 比较广 泛 ,它包括体硅微加工和表面微加工方法 。体硅微加 工技术采用各向异性或各向同性腐蚀剂对硅体进行湿