优质纳米晶硅薄膜的低温制备技术及其在太阳能电池中的应用进展陈城钊.pdf

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优质纳米晶硅薄膜的低温制备技术及其在太阳能电池中的应用进展陈城钊

2 4 Vo1. 2, No . 4 2 0 0 8 1 2 MAT ERIA LS RESEA RCH A ND APPLICAT ION De . 2 0 0 8 : 1673-9981( 2008) 04-0450-05 * 1 1 1 1 1 2 1, 2 陈城钊 , 邱胜桦 , 刘翠青, 吴燕丹, 李 平 , 余楚迎 , 林璇英 ( 1. , 52104 1; 2. , 515063) : , . . : ; ; ; : T M9 14. 4 : A ( n-Si zH) , , a- Si zH . , PECVD a-Si B H , ( 10- 3 ~ 10- 1 8 - 1 # m- 1) . , . , , , . , [ 1] . . , 1. 1. 1 [ 2] [ 3] . , . Gibbs 1 . . , . , ( 450 e ) , . : . / , ; 0 , , [ 2] . , , , 1. 1 [ 4] , . ( SPC) 1. 1. 2 . : 2008-09- 11 * : ( 0503) : ( 1975) ) , , , ,. 2 4 , : # 45 1 # , , . , [ 8-9] ( 300 e ) , . . Al, Au, Ni, Pt, T i, Cr, Pd , . Al . [ 5]

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