氟化硅的工艺研发及进展状况.pdfVIP

无机盐工业 第45卷第1期 4 INORGANICCHEMICALSINDUSTRY 2013年1月 四氟化硅的工艺研发及进展状况 韩建军，李霞，王建萍 (多氟多化工股份有限公司，河南焦作454191) 摘要：四氟化硅是电子上业中的一种重要原料，随着多晶硅等行业迅猛发展需求量逐渐增大。详细介绍了四 氟化硅的应用及市场情况．并对氟气合成法、氟硅酸盐热解法、硫酸法、氢氟酸直接反应法这4种主要生产方法进行 详细论述．讨论了各工艺方法的生产原理、工艺简述、研究状况并对工艺的优缺点进行了评价。就目前市场形势分 析．国内四氟化硅需开发高端产品，以适应市场需求和参与国际竞争。 关键词：四氟化硅：氟硅酸；氢氟酸；氟气 中图分类号：TQl27．2文献标识码：A 文章编号：1006—4990(2013)01-0004—04 Researchand on ofsilicontetrafluorideandthe thereof