一种差动式电容荷载传感器 A Differential Capacitance Transducer with Load.pdfVIP

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2017-08-02 发布于上海
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一种差动式电容荷载传感器 A Differential Capacitance Transducer with Load.pdf

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一种差动式电容荷载传感器 A Differential Capacitance Transducer with Load

Vd．46 总第铂卷第527期电测与仪裹 N硝27 2009年第11期 ⅡeetricalMeesuremmt＆Instrumentation Nov．2009 一种差动式电容荷载传感器木于晓光t，卢满怀1，杨三序2 (1．电子科技大学中山学院机电工程系，广东中山528402； 2．商丘师范学院物理与信息工程系，河南商丘476000) 摘要：针对目前用于荷载(力)检测的传感器原理和种类单一，难于满足不同场合检测需要这一情况，开发了一种全新的差动式电容荷载传感器。该传感器将被测荷载的变化作为输入量，通过敏感元件一弹性体和转换原件一差动式圆柱型电极转换为电容量的变化，将输入与输出建立起一一对应的线性关系。传感器采用了差动式、等位环、超薄圆柱型电极结构以及现代材料和工艺，消除了非线性误差和边缘效应。使其检测精度、灵敏度、可靠性、使用寿命大为提高，具有实用和推广价值。关键词：荷载；差动式电容传感器；检测；电极；等位环中图分类号：TM935，TP212．12 文献标识码：B ADifferential Transducer、7l，ithLoad Capacitance YU San-xu2 Man-huail，YANG Xiao-guan91，LU ofMechanicandElectric ofElectronicScienceand of China, (1．Department Engineering，University Technology of andInformation Normal Zhongshan528402，Guangdong，China．2．DepartmentPhysics Engineering，ShangqiuCollege， Shangqiu476000，Henan，China) noveldifferential transducerwithloadWSlLqintroduced．ItCallsettlethe situationofthe Abstract：A capacitive single andkindsforthetransducerwitllbad．and ofvarious occasions．Theofthe principle requirementstesting change as it transformedto of conversion transducerloadis the is change by input,then capacitance thelinear betweenthe andthe Wasdiscussed． components(differentialcylinderelectrode)，andrelationship input output Thistransducerha