犃狉／犎气体犐犆犘干法刻蚀犌犪犃狊材料 - 华侨大学学报（自然 .PDF

第 卷 第 期 华 侨 大 学 学 报 （自然 科 学 版 ） ３４ ２ Ｖｏｌ．３４ Ｎｏ．２ 　 　 　 　 年 月 （ ） ２０１３ ３ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＨｕａｉａｏＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅ Ｍａｒ．２０１３ 　 　 ｑ ｙ 文章编号： （ ） １０００５０１３２０１３０２０１３９０４ 　 　 利用 ／ ／ 气体 干法刻蚀