介质阻挡放电及其应用 Dielectric Barrier Discharge and Its Applications.pdfVIP

第35卷第1期 高电压技术 V01．35No．1 2009年1月 High Jan． 2009 ·1· VoltageEngineering 介质阻挡放电及其应用 王新新 (清华大学电机系，北京100084) 摘要：为使读者比较全面地了解介质阻捎放电。根据气体放电理论和实验结果，对介质阻挡放电进行了综述。 首先提出了只有拍摄曝光时间为10ms左右的放电图像才能判断放电是否为均匀放电，即使是均匀放电，也不能统 称其为大气压辉光放电，还必须进一步区分它是辉光放电还是汤森放电。其次，说明了只有增加放电的种子电子， 使放电在低电场下进行才有可能实现大气压下均匀放电。最后。根据放电图像、电流电压波形、数值模拟结果，证 明r大气压氦气均匀放电为辉光放电。而大气压氮气均匀放电为汤森放电。最后还简要介绍了3种介质阻挡放电 的主要工业化应用一大型臭氧发生器、薄膜表面的流水线处理、等离子体显示屏。 关键词：介质阻挡放电；大气压辉光放电；汤森放电；辉光放电；气体放电；等离子体表面处理 中图分类号：TM213；TM89文献标志码：A 文章编号：1003—6520(2009)01-0001—11 DielectricBarrier andIts DischargeApplications WANGXin—xin ofElectrical 100084，China) (Department Engineering，TsinghuaUniversity。Beijing Abstract：InordertO understandreviewedthe ofdielectricbarrier comprehensivelyDBD-we investigations discharge onthe relatedtotheuniform at is thatthe f DBD)byfocusingphysics dischargeatmosphericpressure．Itsuggested froma oneistotakea withan timeofabout best tO auniform filamentary exposure waydistinguishdischarge picture 10 a uniform is tOfurther a fromaTownsend as．Evenforreal discharge，itimportant distinguishglowdischarge tO auniform at istomakethe atalowerelec’ discharge．Theonlywayget dischargeatmosphericpressure discharge tricfield theseedelectrons the uniform at byincreasing initiatingdischarge．Recently。thedischargesatmospheric and