双波长激光防控红外减反滤光片的研制.pdfVIP

摘 要 射率组合形式研制了激光防护减反滤光片。在多光谱ZnS基底上，采用电子束及离子辅助沉 u 积技术，制备了能够对532姗和1064衄激光进行有效防护，同时对3～5m的波段具有 高透射率的薄膜。对Si膜的电子束沉积工艺进行了研究；并且对YbF3在不同的材料组合中 的沉积工艺进行了优化；解决了膜层与基底之间的粘附性问题。该薄膜集探测用减反器件和 防护器件于一体，可以使星载、机载等光电仪器的结构得到简化；光谱分析和环境测试的结 果表明，各项指标满足使用要求。 关键词：薄膜激光防护离子辅助沉积红外减反膜 IIlorderto iIlsmJInems缸吼l勰er protectmeⅡlilita巧opt0．electronic lowre丘activeindexcomb池：tioIlSofSi and to lli曲and andⅥ)F3，ZnSYbF3、Ⅳere∞lecteddes