正帆常源项目气体设备辅助系统设施需求.pdfVIP

客户: 河北常源光伏科技有限公司 气体供应系统 气体设备辅助设施需求说明 1. 系统概述 本技术说明针对河北常源光伏科技有限公司气体系统工程气体设备配套辅助设施需求规格。 依未来计划使用气体种类及相关规范，相关气体操作/控制区域如下： A. 硅烷气体房 B. 氢气纯化房 C. 氢气气体房 D. 可燃性气体房 E. 储藏间(氧化性气体房) F. PECVD/VMB 区 G. 监控室 2. 气体房设计及规划 气体种类及容积 房间分布 气体设备分类 1. 硅烷气体房 SiH4 BSGS 2. 氢气纯化房 H2 Purifier 3. 氢气气体房 H2 Bundle 4. 可燃性气体房 气体设备（GC/GR） 5. 储藏间(氧化性气体房) NF3 BSGS/O2 GR 6. PECVD/VMB 区 VMB/PECVD Gas Box 7. 监控室 气体监控系统 特种气体分布 储存气体 当前工艺气瓶架 当前放置 房间分布 化学性质 /工艺气柜数量 工艺气体种类 1. 硅烷气体房 自燃性 1 SiH4 2. 氢气纯化房 可燃性 H2 3. 氢气气体房 可燃性 1 H2 CH4/1%PH3+H2% 4. 可燃性气体房 可燃性/毒性 4 /0.5%B2H6+H2/Ar 5. 储藏间(氧化性气体房) 氧化性/毒性 1 O2 6. PECVD/VMB 区 依气体种类 H2,SiH4 注：设备数量未包含吹扫气瓶架的数量。 All information herein is the confidential property of GenTech International, Inc., unless another source is shown. This information is subject to return on demand and must not be disclosed or reproduced without prior written consent. 客户: 河北常源光伏科技有限公司 气体供应系统 3. 气体房辅助设施需求规格 房间照明（略） 气体房区域：考虑到夜间作业要求，建议照度大于 200LUX。 净化间：按照设计要求，照度应该大于 200LUX。 其他区域：考虑到夜间作业要求，建议照度大于 150LUX。 房间整体通风 房间整体通风 房间分布 储存气体化学性质 备注