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MOSFET器件回顾与展望(下) History and Perspective of MOSFET Device(Ⅱ).pdfVIP

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  • 2017-08-10 发布于上海
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MOSFET器件回顾与展望(下) History and Perspective of MOSFET Device(Ⅱ).pdf

    !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! MOSFET 器件回顾与展望（下） 1 2 1 肖德元 ，夏青 ，陈国庆 （ 中芯国际集成电路（上海）有限公司存储器技术发展中心，上海 ； 1 . 201203 2 . 上海第二工业大学，上海 201209 ） 摘要：介绍了新颖的 MOS 器件结构及鳍状 FET 器件研究最新进展，比较了几种主要新颖半 导体器件的特性，指出了MOSFET 尺寸缩小所面临的巨大挑战及解决办法，展望了器件未来发展 趋势。 关键词：金属氧化物半导体场效应管；微电子学；鳍状 中图分类号：

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