并五苯的溶解及其薄膜性能表征 Dissolving Pentacene and Characterizing Pantecene Thin Films Fabricated from the Solution.pdfVIP

第27卷第10期 半导体学报 V01．27N0．10 2006年10月 CHINESEJoURNALOFSEMICoNDUCToRS oct．。2006 并五苯的溶解及其薄膜性能表征* 张旭辉1 陶春兰1 张福甲1’+ 刘一阳2 张浩力2 (1兰州大学物理科学与技术学院，兰州730000) (2兰州大学化学化工学院功能有机分子化学国家重点实验室，兰州730000) 摘要：报道了并五苯的邻．1，2．氯苯溶液的制备方法及在Si和Si02表面形成的固态薄膜的紫外·可见光光谱(uV- 能形成较大面积、较均匀的多晶并五苯薄膜． 关键词：并五苯溶液；薄膜；uV．Vis；AFM；SEM；xRD PACC：7280L；6116P；6116D 中图分类号：TN304．52文献标识码：A 文章编号：0253—4177(2006)10—1771一05 1 前言 苯溶液及其在si和Sio。表面形成薄膜的一些性 质． 有机半导体器件因其成本低、柔性、可在较低温 度下大面积制造等优点，引起了人们越来越多的关 2 实验 注[1~12。．有机场效应晶体管(0FET)是评价有机半 导体材料性能优劣的一种有力工具，可以研究有机 (1)以邻．1，2．氯苯作溶剂，利用减压蒸馏脱水 材料本身的性能．并五苯是由五个苯环并排结构的 处理． 稠环化合物，是目前迁移率最高的有机半导体材料， 迁移率可达到1．5cm2／(V·s)[131，单晶并五苯甚至 与邻．1，2一氯苯按2。5mg：5mL比例混合成悬浮液， 能达到35cm2／(V·s)[14‘，这一数值能与氢化非晶 在温度50～160℃时形成溶液． 硅(a-H：Si)乃至多晶硅相媲美．虽然对于并五苯的 (3)用滴溶液的方法，将热的溶液滴到已做清洁 应用已有大量的报道[1““]，然而，几乎所有的基于 并五苯有机半导体器件的研究都是采用真空热蒸镀 之后形成薄膜，实验中控制衬底温度与溶液温度一 方法[1““]．这是由于并五苯分子是刚性结构，通常 致，在温度分别为60℃，loo℃，160℃的条件下制备 条件下几乎不易溶于任何有机溶剂．最近，利用溶液 薄膜． 工艺制造并五苯类器件的方法有：先用可溶性的并 以上所有工序，从溶液制备到薄膜制备都是在 五苯前驱物分子通过溶液工艺制造器件，然后在热 氮气手套箱中进行． 处理条件下将前驱物分子转化为并五苯[15’163；通过 对并五苯分子迸行化学修饰，即在其上添加助溶基 3测试与结果分析 团也可以实现利用溶液工艺制造器件[17’1印的目的． 然而直接由溶液工艺制造并五苯器件的报道是罕见 图1为并五苯溶液的UV．Vis光谱，其中，曲线 的[191．如何使并五苯形成微观有序的晶体薄膜，并4为常温下(15℃)悬浮液(并五苯：邻．1，2一氯苯= 且具有可用的力学性能，这一问题至今尚未解决．此 外，由于并五苯溶解性能差，在工艺上难以采用旋涂 把溶液加热到100℃后再进行UV．Vis吸收光谱测 法形成并五苯薄膜，这就对并五苯器件的制造工艺 量的结果；曲线2是先把溶液加热到150℃后再进 带来一定的难度．本文作者利用邻．1，2．氯苯在特定 行UV．Vis吸收光谱测量的结果；曲线3是加热到 的温度下获得了并五苯溶液，并利用紫外．可见光光 150℃后的热溶液由红色变为黄色之后再进行UV． 谱(UV-Vis)、光学显微镜、扫描电镜(SEM)、原子力 *国家自然科学基金资助项目(批准号 t通信作者．Email：proI—zhangfj@sina．com 2006．01-10收到，2006．06．02定稿 @2006中国电子学会 万方数