光动LICS-100激光多普勒激光干涉仪线性补偿方法及其步骤.pdfVIP

光动 LICS-100 激光多普勒激光干涉仪线性补偿方法及其步骤 1． Faunc0 系统 测量前将原有反向间隙和螺距补偿都消去. ⑴反向间隙补偿 进入轴规格参数 将反向间隙〈B 〉值填入相对应的轴的补偿地址： 进入反向间隙补偿地址 backlash:输入对应轴的补偿值即可。（备注两端反向间隙，故补偿的 有两个数值） ⑵螺距误差补偿 通用：螺距补偿需要设置的参数有螺距补偿方式，补偿轴，参考点，补偿区间（即最负点和 最正点），补偿倍率，补偿节距。六大要素。 ① Faunc0 系统只支持增量补偿，所以一开始无需要设置补偿方式 ② 设置参考点 在参数地址的[3620]处（Faunc 系统的补偿点共计为 0—1124 个点，为 XYZ 轴所共用，所以我们可以为 XYZ 三个轴设定相应的有效区间，正常我们可设置 0-100 号码，为 X 轴使用；100-200 为 Y 轴使用；200 以后为Z 使用。所以对应轴的参考点地 址根据需要设置为相应区间的任意点）如图 A-1 所示。 图A-1 ③ 设置相对应的补偿区间 地址 3621 和 3622 3621 为设置补偿区间内的最负点 3622 为设置补偿区间内的最正点 即例如：测量范围为-4500 则 3621 设置的补偿地址即为-450 的补偿地址；3622 则为 0 的 补偿地址。 附加的区间设置方法 例：测量 Z 轴由-450 测量到 0，节距为25mm Z 轴补偿区间我们假设为 200 以后，假设参考点为309 。 则 3620 处填 309 3621 最负处的地址为参考点- （测量长度/节距）+1=309-18+1=292 即 3621 处填写 292 3621 最正处填写参考点地址+1 的地址数，即 310 。 这样参考点和补偿地址都设置好了。如图 A-2 图A-2 ④3623 为倍率。Faunc 系统相对补偿参数限制为 0——±7，所以倍率为 1 的情况下，如误 差中有很多的+7 或者-7的话说明实际补偿误差可能大于这个数值，（例如：误差可能大于± 7，比如误差有 8，10，-9 那它也只能显示到 7，7，-7，）那这个时候我们就要改倍率为 2。 数值才会比较精确。 ④ 3624 为设置测量时候实际的节距 例测量-450——0，每段测量 25mm，则 3624 处设置为 25000 （大部分数控机床的设置单位 基数为 0.001mm 如图 A-3 图A-3 ⑤ 螺距补偿 （举例说明） 例：测量-450——0 的Z 轴，节距为 25mm，软件系统里面的 0 针对-450，450 针对 0 。 Ⅰ。六大要素的设置上面已经解释得很清楚了 Ⅱ。补偿完反向间隙后测量得出的数据，用 ASME B5.54 分析得出的数据如图 A-4 图 图A-4 因为正常补偿我们使用单向补偿即可，故分析系统数据里面的0——450 ，相对补偿的数据 可得出 -450 针对系统 0 处为-0.0003 即仍然为 0 -425 针对系统 25 处为 0.0035 即补偿值为 0.0035-(-0.0003)=0.0038≈0.004mm -400 针对系统 50 处为 0.0073 即补偿值为 0.0073-0.0035=0.0038≈0.004mm ……以此计算下去直到 0 针对系统450处 0.0222即补偿值为 0.0222-0.0197(系统425点处值)≈0.002mm Faunc 系统所得的数据补偿时均要改边符号 故补偿值为 0,-4,-4……-2 将得出的误差填写进入当时设置的区间 292310(针对机械的-4500) 填写方式如图 A-5.A-6 对应写入相应的地址 292-310 图 A-5