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Sterling Silver Process
沉銀操作手冊
麥德美香港有限公司
2005/7/14
製程操作條件及介紹
清槽步驟
製程檢測
微蝕量及沉銀厚度測試(重量法)
Trouble Shooting問題與對策
返工流程
成品作業及儲存注意事項
藥液管理與分析方法
一. 沉銀製程操作條件及介紹
槽名 品名 濃度範圍 溫度((C) 除油
Sterling Spray Cleaner Sterling Spray Cleaner (75084) 8-12% 38-49 Copper 銅含量 1000ppm 微蝕
Sterling Surface Prep Surface Prep Part A (75085) 90-150g/L 32-42 H2SO4 硫酸 2-10% Copper 銅含量 15g/L Etch rate 微蝕速率 30-50 u” 預浸
Sterling Predip Chelator Molarity 蛪合物 0.01-0.02M 32-43 Acid Normality 酸含量 0.1-0.2N Copper 銅含量 1000ppm 沉銀
Sterling Silver Ag 銀含量 0.6-0.9g/L 50-54 Chelator Molarity 蛪合物 0.02-0.04M Acid Normality 酸含量 0.12-0.22N Copper 銅含量 3000ppm 后清洗
Final Finish Post Cleaner Final Finish Post Cleaner (75077) 4.5-5.5% 50-60
品名 : 除油 SterlingTM Spray Cleaner (75084)
建浴量 : 90 % 純水
10% Sterling Spray Cleaner (75074)
SterlingTM Spray Cleaner : 其為單劑型之酸性清潔劑,其主要功能是去除油脂、
污染物、氧化物及手指紋印,並與防焊綠漆有良好之
相容性。
操作溫度 : 38-49oC 最佳值 : 43oC
分析頻率 : Spray Cleaner (75084)
銅含量 一次/日
一次/週
控制濃度 : Spray Cleaner (75084)
銅含量
8-12%
1000 ppm 最佳值 : 10% 補充添加 : 每增加 1% 添加加 Spray Cleaner (75084) 10 mL/L
過濾器 : 使用 20μm 之 PP 濾芯, 隨槽液更槽時更換。
槽液壽命 : 當銅含量到達 1000ppm 或產量達 15,000ssf (以基材上之銅面積計算) 或已使用3個月時, 任一條件到達時予以更槽。
品名 : 微蝕槽SterlingTM Surface Prep (75085/75086)
建浴量 : 93 % 純水
120 g/L Surface Prep Part A (75085)
10 g/L Surface Prep Part B (75086)
2 % H2SO4 濃硫酸 (化學純)
20g/L 硫酸銅(CuSO4.5H2O)
建浴次序 :
1.先以純水加滿槽體1/2
2.加75085混合均勻
3.加75086混合均勻
4.緩慢加入硫酸混合均勻
5.加入硫酸銅混合至溶解
6.以純水補滿液位
*開缸後應添加硫酸銅粉或跑光銅板以增加藥水銅含量, 穏定蝕速。
SterlingTM Surface Prep : 其為雙劑型之微蝕劑,其主要功能是表面粗化,
加強清潔槽之作用。
操作溫度 : 32-42oC 最佳值 : 37oC
分析頻率 : Surface Prep Part A (75085)
H2SO4 硫酸
銅含量
Etch Rate 微蝕速率
一次/班
一次/班
一次/日
一次/日
控制濃度 : Surface Prep Part A (75085)
H2SO4 硫酸
銅含量
Etch Rate 微蝕速率
90-150 g/L
2-10%
15 g/L
30-50μ” 補充添加 : Surface Prep Part A (75085)
H2SO4 硫酸
每增加 1g/L 添加 75085 1 g/L
每增加 0.1% 添加 H2SO4 硫酸 1 mL/L 過濾器 : 使用 20μm 之濾芯, 隨槽液更槽時更換。
槽液壽命 : 當銅含量到達 15g/L 或已使用一個月時, 任一條件到達時予以更槽。
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