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电子工业专用设备 Equipment for Electronic Products Manufacturing ·企业之窗 · ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! 公 司 与 新 品 介 绍 ! ! ! ! ! ! ! EDWARDS成为450mm晶圆制造设备 联盟（F450C）的创始成员 联盟的成立是为了引导450mm 晶圆制造厂 晶圆制造过渡过程中必不可少的配套设备和基础 的建设和基础设施。 设施方案。这些方案可以解决更多超出450mm 精密真空产品和尾气处理系统领先制造商及 晶圆生产带来的制造难题，因为下一代制造工厂 相关增值服务全球供应商Edwards集团有限公司 带来了设施设计、基板处理、工具连接、化学品分 最近加入了一个由全球十家半导体设备公司组 送、水和电气系统以及许多其它领域的新挑战。 成，旨在组建450mm 晶圆制造设备联盟（F450C） 2013年6月28日，纽约州州长Andrew M. 的工作组。这是全球450联盟（G450C）的一个分 Cuomo宣布，F450C 在纽约州立大学纳米科学和 小组，其建立是为了解决下一代450mm 半导体 工程学院（CNSE）的成立带来500多万美元的新 晶圆制造设施的复杂开发和基础设施要求。 私人投资，并创造了多达150个高科技工作岗位。 F450C办公地点位于纽约州立大学阿尔巴尼 更多资讯，请参看新闻稿http://bit.ly/11Sj69S。 分校的纳米科学和工程学院（CNSE），其成立是为 在SEMICON West2013展览会期间将会举 了开发必要的关键设备技术，以确定有竞争力的设 办一个450mm 制造EHS论坛（450mm Manufac- 备解决方案，从而使450mm 晶圆制造得以实现。 turingEHSForum），届时将讨论随着制造商转向 Edwards是联盟中唯一一家代表真空和尾气处理 450mm 晶圆工艺而带来的环境、健康和安全 设备的公司，这体现了Edwards公司在半导体行业 （EHS）问题，以及所产生影响和挑战。Edwards将 以及其他广泛应用中的长期经验和技术领先地位。 在论坛上做题为“绿色模式：集成实现电力（Utili- G450C 主要为450mm 制造设备和工艺技术 ty）节省”的报告。更多资讯请浏览www.semicon- 提供指导，而F450C的目标则是开发向450mm 。 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! EDWARDS公司IPUP2真空泵创立加载互锁和 输送腔体应用新标准 精密真空产品和尾气处理系统领先制造商和 锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵IPUP2。 相关增值服务领先供应商Edwards集团