纳米薄膜尺度依赖的杨氏模量和表面应力导致的弯曲.pdfVIP

中国科学：物理学 力学 天文学 2015年 第45卷 第8期：086801 《中国科学杂志社 SCIENTIASINICA Physica．Mechanica＆Astronomica phys．scichina．com SCIENCECHINAPRESS 纳米薄膜尺度依赖的杨氏模量及表面应力导致的 弯曲 李建刚①，白那 日苏 ，云国宏①② ① 内蒙古大学物理科学与技术学院，内蒙古自治区纳米科学与技术重点实验室，呼和浩特 010021； ② 内蒙古师范大学物理与电子学院，内蒙古自治区功能材料物理与化学重点实验室，呼和浩特 010022 联系人，云国宏，E—mail：ndghyun@imu．edu．cn；白那 日苏，E—mail：nars@imnu．edu．cn 收稿 日期：2015．02．15；接受 日期：2015．03．31；网络出版 日期：2015．07—02 国家 自然科学基金 (批准号50901039~内蒙古 自治区高校青年科技英才计划 (编号：NJYT一12-B07)资助项 目 摘要 考虑纳米薄膜表面弹性及其作用厚度得到了纳米薄膜尺度依赖的杨氏模量的表达式．通过考虑表面 层厚度，弓l入 了表面效应的二级和三级修正，这有助于对纳米薄膜弹性性质进行更深入的研究．针对纳米薄 膜上、下两个表面上表面应力不平衡的情况，由能量极小原理得到了表面应力导致的单层纳米薄膜的弯曲公 式．通过将本文弹性(及弯曲)理论同前人工作进行比较，研究了表面层厚度对薄膜弹性性质影响的规律，揭示 了本文理论与前人理论的内在联系． 关键词 纳米薄膜，表面效应，杨氏模量，弯曲 PACS：62．25．一g，46．70．一P，46．25．·Y，46．70．De doi：】0．】360／SSPMA20】5O()()74 引言 米器件制造技术的迅速发展，薄膜的厚度越来越小， 这使得纳米薄膜的表面效应(如表面弹性、表面应力 纳米薄膜独特的性质使其在纳机电系统(NEMS) 等效应)对器件的影响越来越明显．因此在制备纳米 中得到了广泛的应用，可用于制作纳米传感器、纳米 器件时，表面效应成为不可忽略的重要因素 【}6，．由 执行器等 NEMS中的重要元件．随着纳米材料制造工 于纳米薄膜 的厚度很小，这使得纳米薄膜与厚度较 艺的迅速发展，NEMS逐渐成为纳米技术的重要研究 大(量级为微米或者更大)的薄膜有着完全不 同的力 方向之一_lJ．这一新兴的领域涉及表面科学r6，、材 学性质，进入 21世纪以来，人们利用薄膜内部的剩 料科学 [8]、生物技术 ”、测量技术 ，以及精密制造 余应变使得纳米薄膜发生卷 曲现象，从而制作出了 等诸多学科与技术．NEMS的核心包括具有纳米量级 由纳米薄膜卷 曲而成的纳米管s[-10j．纳米薄膜卷曲为 尺寸的执行器、传感器、纳米机器人等各种纳米器件 管状结构使得材料 内部具有较大的剩余应变，x射线 及纳米系统．纳米薄膜 由于结构简单易于制备而成 衍射实验显示，卷曲薄膜 内部剩余应变随着纳米管 为制作探测、执行和控制元件的重要材料…．随着纳 半径方向(即薄膜 的厚度方向)呈线性变化[11,12】．这种 I用格式：李建刚，白那曰苏，云国宏．纳米薄膜尺度依赖的杨氏模量及表面应力导致的弯曲，中国科学：物理学 力学 天文学，2015，45：086801 LiJG，BaiNRS，YunGH．Size—dependentYoung’Smodulusandsurfacestress-inducedbendingofnanofilms(inChinese)SciSin—PhysMechAstron， 2015，45：086801，doi：10．1360／SSPM A2O15．00074 李建刚等． 中国科学：