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硅基全光宽带太赫兹幅度调制器的研究田伟文岐业陈智-物理学报.PDF
硅基全光宽带太赫兹幅度调制器的研究
田伟 文岐业 陈智 杨青慧 荆玉兰 张怀武
Opticallytunedwidebandterahertzwaveamplitudemodulator based on gold-doped silicon
TianWei WenQi-Ye ChenZhi YangQing-Hui JingYu-Lan Zhang Huai-Wu
引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,028401(2015) DOI: 10.7498/aps.64.028401
在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.028401
当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I2
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硅基全光宽带太赫兹幅度调制器的研究
田伟 文岐业 陈智 杨青慧 荆玉兰 张怀武
1)(电子科技大学, 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 成都 610054)
2)( 电子科技大学, 通信抗干扰技术国家级重点实验室, 成都 610054)
( 2014 年8 月10 日收到; 2014 年9 月7 日收到修改稿)
提出了一种基于掺金硅的全光学宽带太赫兹波幅度调制器, 研究了金(Au) 点阵掺杂后硅(Si) 体内的少
数载流子寿命及其太赫兹波调制特性. 实验结果表明, 掺杂的Au 原子为Si 中的光生电子- 空穴对提供了有
效复合中心, 使其少数载流子寿命由原来十几微秒降低至110 ns 左右. 利用波长915 nm 调制激光作为抽运
光源, 在340 GHz 载波的动态调制测试中获得4.3 MHz 的调制速率和21% 的调制深度, 使Si 基调制器的调制
速率提高了两个数量级. 该全光太赫兹调制器可工作在整个太赫兹频段内, 具有极化不敏感特性, 因而在太
赫兹波高速和宽带调控方面具有重要的应用价值, 也是构建光控型Si 基太赫兹功能器件的重要基础.
关键词: 太赫兹波, 调制器, 光控, 掺金硅
PACS: 84.30.Qi, 07.57.Pt, 72.20.Jv, 61.72.U– DOI: 10.7498/aps.64.028401
赫兹波直接调制68 . 但是由于2DEG 厚度仅为
1 引 言 纳米级, 对THz 波的调制深度较小( 3%).
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