1 )B衬底对 MBE外延碲镉汞材料的影响分析.PDFVIP

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2017-08-14 发布于天津
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第卷第期激光与红外年月文章编号红外材料与器件衬底对外延碲镉汞材料的影响分析吴亮亮侯晓敏王丛王经纬刘铭周立庆华北光电技术研究所北京摘要碲锌镉衬底广泛应用于碲镉汞分子束外延生长其性能参数在很大程度上决定了碲镉汞分子束外延材料的质量主要讨论了衬底几个关键性能参数对碲镉汞外延材料的影响包括组分及均匀性缺陷位错孪晶及晶界和碲沉淀以及表面状态粗糙度和化学组成并且分析了对衬底进行筛分时各性能参数的评价方法和指标关键词碲锌镉碲镉汞分子束外延表面状态筛分中图分类号文献标识码引言层异质结生长可实现精确在线控制所以方

第４５卷　第６期　　　　　　　　　　　　　　　激光与红外Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．６　２０１５年６月　　　　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤＪｕｎｅ，２０１５　　文章编号：１００１５０７８（２０１５）０６０６５００６ ·红外材料与器件 · ＣｄＺｎＴｅ（２１１）Ｂ衬底对ＭＢＥ外延碲镉汞材料的影响