无尘室衰退之原因.PDF

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2017-08-12 发布于天津
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Index 索引無塵室清淨度標準 1 無塵室空調方式 2 無塵室進出管理流程 3 無塵室衰退之原因 4 無塵室之應用範圍 5 環氧樹脂地板工程 6 導電高架地板 8 無塵室隔間工程 9 照明燈具11 空氣浴塵室12 傳遞箱13 無塵操作亭/風扇過濾組/洩壓風門14 無菌無塵操作台15 PP化學清洗槽/排煙櫃/萬向抽氣罩16 廢氣排放工程及處理設備17 無塵衣櫃/一般衣櫃/置物櫃、鞋櫃18 靜電消除及測試設備19 無塵防靜電椅20 空氣過濾網22 不銹鋼訂製品23 無塵室相關器材24 藥品安全儲存櫃/鋼瓶固定裝置25 緊急沖身洗眼器/淋浴站26 無塵衣/鞋/帽27 手套28 無塵室耗材29 美國聯邦標準 (Fed.Std.209E)無塵室等級分類之規範 Maximum numbers of particles Cleanliness class 0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 5 μm Unit volume Unit volume Unit volume Unit volume Unit volume Metric Fps (m3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 system system ) (ft ) (m ) (ft ) (m ) (ft ) (m ) (ft ) (m ) (ft ) M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283 … … … … M1.5 1 1,240 35.0 265 7.5 106 3 35.3 1 … … … … M2 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 … … … … M2.5 10 12,400 350 2,650 75 1,060 30 353 10 … … … … M3 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 … … … … M3.5 100 … … … … 26,500 750 10,600 300 3,530 100 … … … … M4 … … … … 75,700 2,140 30,900 875 10,000 283 … … … … M4.5 1000 … … … … … … … … … … … … 35,300 1,000 247 7 M5 … … … … … … … … … … … … 100,000 2,830 618 17.5 M5.5 10000 … … … … … … … … … … … … 353,000 10,000 2,470 70 M6 … … … … …