微带六端口网络的工艺健壮性分析-中国测试.PDF

第42卷第2期 中国测试 Vol.42 No.2 2016年2月 CHINA MEASUREMENT TEST February，2016 doi院10.11857/j.issn.1674-5124.2016.02.005 微带六端口网络的工艺健壮性分析 1袁2 2袁3 1袁4 黄振华 袁 高 杨 袁 蔡 洵 （1.西南科技大学信息工程学院，四川 绵阳 621010；2.中国工程物理研究院电子工程研究所，四川 绵阳 621999； 3.重庆大学 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室，重庆 400044； 4.重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室，重庆 400044） 摘 要院为确保微带六端口网络能替代矢量网络分析仪用于体声波传感器的射频输出信号检测袁分别从微带金属导 线的宽度误差和厚度误差对微带六端口网络工作频段的影响进行分析遥 采用ADS软件的射频等效电路仿真分析得 出院微带金属导线的宽度对六端口网络的工作带宽影响较大袁金属导体厚度对工作带宽的影响很小袁几乎可以忽略不 计曰由于体声波传感器的读出电路对工作带宽的要求不高袁微带六端口网络用于体声波传感器读出电路有良好的工 艺健壮性遥 关键词院六端口网络；工艺健壮性；体声波传感器；读出电路；矢量网络分析仪 文献标志码院A 文章编号院1674-5124渊2016冤02-0024-04 Process robustness analysis on microstrip six-port network 1，2 2，3 1，4 HUANG Zhenhua ，GAO Yang ，CAI Xun （1.School of Information Engineering，Southwest University of Science and Technology， Mianyang 621010，China； 2.Institute of Electronic Engineering，China Academy of Engineering Physics，Mianyang 621999，China； 3.National Key Laboratory of Fundamental Science of Micro/Nano-Device and System Technology， Chongqing University，Chongqing 400044，China； 4.Key Laboratory of Optoelectronic Technology and Systems of Ministry of Education，Chongqing University， Chongqing 400044，China） Abstract: To ensure that the microstrip six-port network is substituted for the vector network analyzer in detecting RF output signa