微影制程与显影条件之关系探讨-师大附中.PDF

微影製程與顯影條件之關係探討 國立台灣師大附中校內科展作品說明書內容 名稱 ：微影製程與顯影條件之關係探討之關係探討 內文 ： 一 、 摘要 探討彩色光阻在不同酸鹼度的顯影劑和顯影時間下的顯影結果 。 探討彩色光阻在不同的旋轉塗佈 、軟烤 、曝光強度 、時間下的顯影結果 。 二 、 研究動機 現在市面上充斥著液晶螢幕 、液晶電視的商品 ， 而其最主要的結構在於螢幕的前面有一塊玻璃稱為 「彩色濾光片」。而其中的原理是由於彩色濾光片上 佈滿著很多排列整齊的彩色光阻(RGB) ，而由後方照 射的光透過 RGB 光阻顯現出不同的色光 。隨著光照射 的角度不同 ，經過三種顏色的光阻程度不同而使三種 顏色混和構成不同的顏色 ，造成液晶螢幕顯現出多采 多姿的各種顏色 。而彩色濾光片的好壞取決於面上的 彩色光阻的塗佈完整度 。而將光阻塗佈上去 ，是所謂 的微影製程 ，在經過曝光顯影等過程中 ，才能將其固 -7 ▲彩色濾光片放大圖(比例尺 ；1:10 m) 定在面上。而微影製程也在積體電路工業上扮演重要 的角色 ，用途是將光阻按照電路圖的圖形 ，顯影在矽晶片上再加以離子蝕刻而導電 。其中體 積的縮小和導電性的好壞 ，與微影技術息息相關 ，因此我們研究彩色光阻 ，在各種條件下的 曝光顯影的結果好壞及關係 。 三 、 研究目的 探討彩色濾光片上的彩色光阻對於烘烤 、曝光時間 、波長及顯影條件的關係 ，以找尋在 微影製程中最有效果的顯影劑濃度 、曝光時間及強度 。 四 、 研究設備器材 器材 ：旋轉塗佈機 1 台 、空氣噴槍 1支 、熱墊板 1 台 、碼表 3 支 、曝光機 1 台 、超音波洗淨 機 1 台 、烘箱 1台 、透明玻璃數片 〈10×10×0.2cm〉、矽晶片數片 〈4 吋 〉、廣用試紙 20 張 、數位相機 1 台 、攪拌器 1 台 。 藥品 ：丙酮 100ml、彩色光阻 RGB 各 300ml、KOH 粉末 300g、純水 。 五 、 研究過程或方法 (一) 旋轉塗佈光阻 1. 將透明玻璃片用少許丙酮清洗並拭淨 ，若是用矽晶圓則以空氣噴槍噴去灰塵 。 2. 將玻璃(或矽晶片)放於旋轉塗佈機之真空吸盤之上 ，開啟真空以吸住玻璃(或矽晶 片) ，並以鑷子碰觸邊緣以測試是否吸牢 。 3. 將彩色光阻(RGB)以滴管吸取滴於玻璃(或矽晶片)上數滴並均勻佈滿 。 4. 調整以不同的轉速 ，轉 8秒 ，使光阻均勻的塗佈在其上 。 5. 塗完後 ，關閉真空吸盤 ，以鑷子夾取於加熱墊板上 。 控制變因 控制量 轉速(r.p.m)500r.p.m1000r.p.m1500r.p.m2000r.p.m (二) 軟烤 1. 將熱墊板事先調整溫度至指定溫度 。 2. 將塗佈完光阻之玻璃(或矽晶片)以鑷子夾於其上 。 3. 用碼表計時不同秒數後以鑷子拿取 。 4. 烤完後將熱墊板的溫度調到常溫以待其降至常溫時再關閉 。 控制變因 控制量 溫度(℃) 70 、90 、110 、130℃ 秒(sec) 60 、90 、120 、150s 1 (三) 曝光 1. 將軟烤完畢的玻璃(或矽晶片)放於曝光機的曝光盤上 ，並開啟真空吸住 。 2. 將之置於光源鏡頭底下 ，設定不同曝光能量及曝光波長 ：365nm為通訊波長 ，不改 變 。 3. 開啟曝光按鈕 ，指定曝光秒數 ，此時眼睛不可直視光源 。 4. 取消真空 ，以鑷子夾取玻璃(或矽晶片)浸於超音波洗淨機中 ，進行下一步顯影 。 控制變因 控制量 2