扫描近场红外显微镜光纤探针的腐蚀制法!.PDFVIP

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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 G !$ $! !$ , , , PC ,G ) , !$ Q5?=; $! ( ) !A%$1K$!KG !$ K$%$$AG LM3L 2NO(*ML (*)*ML $! MJ87 , 2J@4 , (5 , 扫描近场红外显微镜光纤探针的腐蚀制法! 张立源 李永贵 王 潜 (中国科学院高能物理研究所自由电子激光实验室,北京 !# ) ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改搞) $! $ $% $! !’ 红外光探针是扫描近场红外显微镜( )中的关键部件,由于探针的种类和材料不同,制作的方法也不同 一 ()*+ , 般制作光纤探针有两种方法,即热拉伸法和化学腐蚀法 这里叙述了一种化学腐蚀方法,介绍了怎么去除砷硒碲中 , 红外光纤的聚酰胺表层和硫化硒夹层,以及芯层腐蚀成针尖状的具体方法和过程,并对短锥针探针制法进行了探 索 最后用此探针在近场范围内探测了氮化镓样品的自由电子激光( )反射谱 , -./ , 关键词:扫描探针显微镜( ),近场红外扫描显微镜( ),光纤探针 (2+ ()*+ : , , !## 02 1 0!!02 针制备相比,一方面适合中红外波段( — ) $ , G $G ? ! ! 引 言 光纤种类太少, 另一方面现有的红外光纤都比较脆, 延展性和柔韧性很差,而且化学性质比较稳定 为降 , 以扫描隧道显微镜( )为代表的扫描探针显 低光衰减,制成高质量红外光纤探针是比较困难的 (3+ 微镜( ,缩写为 )的出 事 国外一些研究 地方在探头方面采用了其 :;= ?85;45:@ (2+ , ()*+ [,] [,] []

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