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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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扫描近场红外显微镜光纤探针的腐蚀制法!
张立源 李永贵 王 潜
(中国科学院高能物理研究所自由电子激光实验室,北京 !# )
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改搞)
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红外光探针是扫描近场红外显微镜( )中的关键部件,由于探针的种类和材料不同,制作的方法也不同 一
()*+ ,
般制作光纤探针有两种方法,即热拉伸法和化学腐蚀法 这里叙述了一种化学腐蚀方法,介绍了怎么去除砷硒碲中
,
红外光纤的聚酰胺表层和硫化硒夹层,以及芯层腐蚀成针尖状的具体方法和过程,并对短锥针探针制法进行了探
索 最后用此探针在近场范围内探测了氮化镓样品的自由电子激光( )反射谱
, -./ ,
关键词:扫描探针显微镜( ),近场红外扫描显微镜( ),光纤探针
(2+ ()*+
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针制备相比,一方面适合中红外波段( — )
$ , G $G ?
!
! 引 言 光纤种类太少, 另一方面现有的红外光纤都比较脆,
延展性和柔韧性很差,而且化学性质比较稳定 为降
,
以扫描隧道显微镜( )为代表的扫描探针显 低光衰减,制成高质量红外光纤探针是比较困难的
(3+
微镜( ,缩写为 )的出 事 国外一些研究 地方在探头方面采用了其
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