可用于四波横向剪切干涉波前检测的随机编码混合-中国光学期刊网.PDF

第42卷 第10期 中 国 激 光 Vol.42,No. 10 2015年10月 CHINESEJOURNALOFLASERS October,2015 可用于四波横向剪切干涉波前检测的随机编码 混合光栅设计 岳秀梅 杨甬英 凌 曈 刘 东 罗言东 白 剑 沈亦兵 浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州 310027 摘要 提出了一种可用于四波横向剪切干涉波前检测的随机编码混合光栅。由期望得到的四波前衍射频谱出发， 根据夫琅禾费衍射原理并结合光通量约束的随机编码方法得到了由振幅编码光栅和棋盘式相位光栅构成的随机 编码混合光栅，与改进的哈特曼模板(MHM)相比，其衍射场中只有四个级次，更好地实现了四波横向剪切干涉。分 析确定了入射光束口径、光栅栅距以及观察距离等系统参数。分别给出了随机编码混合光栅和MHM的远场衍射 光场分布及四波横向剪切干涉图，对比发现随机编码混合光栅的远场衍射光场中只有四个等光强的光斑存在，其 四波横向剪切干涉图稳定，可以实现任意畸变的波前检测。 关键词 测量;随机编码混合光栅;夫琅禾费衍射; 四波横向剪切干涉 中图分类号 O436 文献标识码 A doi: 10.3788/CJL201542.1008006 DesignofRandomlyEncodedHybridGratingforWavefrontTestingby QuadriwaveLateralShearingInterferometry YueXiumei YangYongying LingTong LiuDong LuoYandong BaiJian ShenYibing StateKeyLaboratoryofModernOpticalInstrumentation,DepartmentofOpticalEngineering,ZhejiangUniversity, Hangzhou,Zhejiang 310027,China Abstract Anewtypeofrandomlyencodedhybridgratingforwavefronttestingbyquadriwavelateralshearing interferometryisproposed.Therandomlyencodedhybridgratingwhichincludesanamplitudeencodedgrating andaphasechessboardisobtainedaccordingtotheFraunhoferdiffractionprincipleandtherandomlycoding methodbasedonthequantizationofradiantflux.ComparedwiththemodifiedHartmannmask(MHM),onlyfour diffractionordersexistinitsdiffractionfield,andthequadriwavelateralshearinginterferometryisbetterachieved. Systemparameterssuchastheincidentbeamdiameter,gratingpitchandthedistancefromthegratingtothe imagingplaneareanalyzedanddetermined.Comparingthefar-fieldintensitydistributionandquadriwavelateral shearinginterferogramsoftherandomlyencodedhybridgrating