基底复制技术研究-物理试验杂志.PDF

第 卷 第 期 物 理 实 验 ３４ ５ Ｖｏｌ．３４ Ｎｏ．５ 　 　 　 　 　 　　　　　　　 　　　　　 　　 年 月 ＰＨＹＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ ， 　 　 ２０１４ ５ Ｍａ ２０１４ 　 　 　 　 ｙ 櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 基底复制技术研究 ， ， ， 白 亮 张朝民 朱鹏飞 周有余 　 （ ， ） 上海工程技术大学基础教学学院 上海 ２０１６２０ ： ， 摘 要 研究了基于 和 两种分离材料 环氧复制和电镀 后再环氧复制的基底复制技术 采用直流磁控溅 Ａｕ Ａ Ｎｉ ． 　　 　 ｇ ／ ， ： 射技术在不同工艺的复制基底上镀制 多层膜反射镜 利用反射率计测量其反射率 测量结果表明 电镀 后再 Ｍｏ Ｓｉ ． Ｎｉ 环氧复制的 Ａｕ基底反射率最高． ： ； ； ； 关键词 基底复制 多层膜 磁控溅射 反射率 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） Ｏ４８４．４１ Ａ １００５４６４２２０１４０５０００６０３ 　　　 　　　 － － － 用国产超高真空磁控溅射设备（ ） ＪＧＰ５６０Ｃ６ １ 引 言 　 　 ［ ］ １３１４ ，