熔石英紫外激光初始损伤形态分析-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２１ ７ Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．７ 　 　 年 月 ， ２００９ ７ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊｕｌ． ２００９ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００９０７１０２７０５ 　 熔石英紫外激光初始损伤形态分析 刘志超， 许 乔， 欧阳升， 罗 晋 　 　 　 　 　 （成都精密光学工程研究中心，成都 ６１００４１） 摘 要： 采取 ３５５ｎｍ激光脉冲辐照熔石英样品，利用 Ｎｏｍａｒｓｋｉ微分干涉差显微镜、原子力显微镜和扫 　　 　 　 描电子显微镜观测手段对前后表面产生的损伤点进行了观察分析。对前后表面损伤形态做出详细的描述和分 类，从理论上对每种损伤类型产生的条件与机理做出推测。实验结果表明：熔石英前表面存在小麻点群损伤和 星状裂纹损伤两种损伤形态，横向尺寸分别为 和 ；后表面存在小麻点群损伤、壳状剥离 ０．８ ２．５ １．０ ５．５ ｍ ～ ～ μ 损伤和火山口 种损伤形态，损伤横向尺寸分别为 ， 和 。实验证明了 尺度 ３ ０．４８ １．３３４ ２０ １２ ３０ ｍ １ ｍ ～ ～ ～ μ μ 损伤点的产生与再沉积层密切相关。 关键词： 熔石英； 紫外激光； 初始损伤； 损伤形态 　　 　 　 　 　 中图分类号： Ｏ４３７ 文献标志码： Ａ 　　 　 　　　　 　 熔石英元件的紫外激光损伤问题是限制激光器向高功率发展的主要因素之一。为了能在科学层面上对 　　 这一问题进行系统的研究，需要对熔石英的初始损伤情况进行全面的评估。在国外，初始损伤形态方面研究在 实验上和理论上都获得了一些成果：在研究激光脉宽对光学元件影响时， 将熔石英初始损伤形态 Ｃ．Ｗ．Ｃａｒｒ ［］ １ 明确分为 ， 和 类 ； 和 则在建立损伤模型时把初始损伤 ｈａｚｅｌｅｔｍｕｓｓｅｌ ａｎｓ ３ Ｍ．Ｄ．Ｆｅｉｔ Ａ．Ｍ．Ｒｕｂｅｎｃｈｉｋ ｐ ｙ ［ ］ ２３ 划分为脆性断裂和塑性形变 ；通过损伤密度模型的建立， 和