MEMS接触电容式高温压力传感器的温度效应 Temperature effect of MENS high temperature touch-mode capacitive pressure sensor.pdfVIP

第27卷第12期 电子测量与仪器学报 ％Z．27No．12 MEASUREMENTANDINSTRUMENT ·1141· 2013年12月 OFELECTRONIC JOURNAL 187．2013．01141 DOI：10．3724／SP．J．1 木 MEMS接触电容式高温压力传感器的温度效应 郑志霞1 冯 勇建2 (1．莆田学院电子信息工程系莆田351100；2厦门大学机电工程系厦门361005) 摘要：介绍了一种基于SO[／硅片键合技术制作的接触电容式高温压力传感器结构，并对传感器的测试装置、测试方法 进行详细的介绍后，对传感器进行压力测试和温度特性测试。压力测试结果表明，传感器线性工作区压力为110～ 280 kPa，灵敏度约为0．14 0．5％。文中还分析了热胀冷缩及介电常数温度系数对传感器温度效应的影响，以及设计了参考电容及运算放大器式传感 器测量电路来消除温度效应。 关键词：接触电容；传感器；压力测量；温度效应；运算放大器 中图分类号：TP212；TN99文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4020 effectofMENS Temperature hightemperature touch-mode sensor capacitivepressure Zhixial Zheng FengYongjian2 ofElectronicInformation 351100，China； (1．Department Engineering，PutianUniversity，Putian ofMechanicElectronic 2．Department Engineering，XiamenUniversity，Xiamen361005，China) introducesthestructureoftheMEMS touch—mode sensor Abstract：This paper hightemperature capacitivepressure whichisbasesontheSOUSiliconfusion deviceandmethodare in bondingtechnique．Itstesting presenteddetail， andthetestsonthesensors and areconductedin resultsofthe pressure temperature．Thepres— temperature high suretestshowthatthelinear ofthesensorisabout110—。280kPaandits isabout operatingrange sensitivity 0．14 resultsofth