MEMS麦克风可增强音频系统的质量和可靠性 MEMS microphone enhanced quality and Reliability for Audio systems.pdfVIP

MEMS麦克风可增强音频系统的质量和可靠性 MEMSmicrophoneenhancedqualityandReliabilityforAudiosystems ToddBorkowskiADI公司微机械产品部 新型MEMS麦克风将高 质量音频采集能力赋予便携式设备，同时能够降低成本、功耗和尺寸。 MEMS；麦克风；可靠性；音频系统 10.3969/j.issn.1005-5517.2011.10.004 @@[1]ScheeperPR,NordstrandB,GullvJO,LiuB,Clausen T,MidjordL,Storgaard-LarsenT.Anewmeasurement microphonebasedonMEMStechnology[M].Sonion,Orsteds Piads,Lyngby,Denmark @@[2]KoWH,ZhangR,Husng P,GuoJ,YeX,YoungD J,MegerianCA.StudiesofMEMSAcousticSensorsas ImplantabieMicrophonesforTotallyImplentableHearing AidSystems[M].Dept.ofElectr.Eng.Comput.Sci.,Case WesternReserveUniv.,Cleveland,OH,USA