- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
感光干膜在蚀刻中的应用
一、 简介ResoPower MU系列干膜是新一代的多用途干膜,为线路板厂家提供一种操作范围广泛的新技术。能适用于各种蚀刻、电镀(铜、镍、金、锡、锡/铅等)以及掩孔用途。二、 规格应 用 建议使用产品 厚度(μm)蚀刻 MU-310,MU-312,MU-315 25,30,38电镀、掩孔 MU-310,MU-312,MU-315,MU-320 25,30,38,50三、 特性 高解像度高感光度可以大大提高产能( 对各种铜面有良好的附着能力( 快速而优良的去膜性能( 优良的掩孔和抗电镀能力( 对于曝光接触不良的敏感度低,曝光操作幅度宽( 在铜,锡或铅/锡电镀中不易掉膜(四、 铜面状态及表面处理ResoPower MU系列同各种铜表面相容性好,无脱膜现象 化学镀铜表面( 直接金属化表面( 电镀铜面(五、 使用工艺参数1、铜面前处理磨刷研磨2、贴膜推荐贴膜参数如下表:手动贴膜机 自动贴膜机预热() 视情况定 视情况定压合温度() 50-80压辘温度() 110-130 110-130贴膜压力(PSI) 60-80 60-80贴膜速度(m/min) 0.6-1.5 1.5-3.0压合时间(Sec) 1-4板出温度 内层板:60-70;外层板:45-55(镀铜/锡);50-65(镀金)建议: 温度达到110以上后开始贴膜( 为减少孔破,可以适当减低压膜温度和压力( 贴膜前孔内应无水分或水气( 贴膜后的板冷却至室温后,再曝光(3、静置时间:30min(15min以上)4、曝光ResoPower MU系列产品可在各种曝光机上进行曝光,灯管的波长值应分布在350-380nm推荐使用曝光参数(PSI)MU310 MU312 MU315 MU320SST(21) 7-10 7-10 7-10 7-10mJ/cm2 30-100 30-100 35-100 40-1005、静置时间:30min(15min以上)6、显影ResoPower MU系列干膜可以在Na2CO3 、K2CO3中显影,显影范围宽。推荐显影参数如下:参数 建议范围 最佳范围显影压力(PSI) 20-35?显影浓度?Na2CO3 0.7-1.2WT% 1.0WT%K2CO3 0.9-1.3WT% 1.1WT%Na2CO3,H2O 0.9-1.3WT% 1.1WT%显影温度() 26-32 29显影点(BP%) 50-70 60显影时间(Sec)?MU310 28-40?MU312 30-45?MU315 35-50?MU320 40-60?水洗喷嘴 各种喷嘴 扇形PH 10.2-11.2 10.67、电镀ResoPower MU系列适于各种电镀,具有优异的抗渗镀能力。推荐电镀前处理:制程 参数控制酸性除油 38-50,2-6min喷淋清洗 2min微蚀量 0.15-0.25μm喷淋清洗 2min?硫酸浸泡 5-10VOL%;1-2min喷淋清洗 1-2min8、蚀刻ResoPower MU系列干膜适用于酸性蚀刻,如:CuCl2,H2O2/H2SO4,FeCl3等酸性蚀刻体系9、去膜推荐去膜条件:参数控制浓度?NaOH 1.5-3.0WT%KOH 1.5-3.0WT%温度 45-55压力 20-50PSIB.P. ≤50%六、 注意事项1、储存注意事项(1)干膜应水平放置干燥冷暗之场所(5-20、60%RH以下),?(2)包装状态避免阳光直接照射2、使用注意事项(1)使用时请在黄色灯光下或同类的安全灯光下进行,并请勿长时间放置于黄色灯光下,如非不得已时则请用黑膜等遮光后保存(2)假如贴膜后的板需放置24小时以上,请用黑膜等遮光保存3、安全注意事项因未感光的干膜含有丙烯酸单体,有可能造成皮肤过敏,特别是较易过敏的人,请注意下列各点:(1)直接接触干膜的感光层时,有可能造成皮肤过敏,所以请勿直接触摸,如果触摸到时请用香皂清洗干净。万一接触眼睛时,请用水充分冲洗并由医师治疗。(2)贴膜时从干膜发出的气体对健康有害,请安装排气设备。(3)PET膜与PE膜因沾有干膜,应将其废弃,勿再作其它用途。备注: 显影液及退膜液皆属碱性溶液,请勿接触到眼睛、皮肤,并且于洗、换槽或设备保养时必须穿戴安全装备如安全眼镜、防护手套等。七、 工序出现问题及原因、对策1、显影后铜面上留残渣:原 因 分 析 处 理 方 法1:显影不足 *按资料确定显影的参数2:显影后曝于白光 *有干膜的基板应在黄色照明下操作、目检及修补3:重氮底片上暗区之遮光不够 *检查重氮片上暗区遮光密度,线路边缘之清晰度,一旦不足时则更换重
文档评论(0)