测光分类和方法.docVIP

参考指标 电移台运行的波动（即平行度），摆动≈20μm 电移台竖直使用时的允许负载：甲壳虫系列≈5Kg 7STA03400≈10 Kg 其余≈7.5 Kg 换装大扭矩电机后可达≈20～30 Kg（Max≈6 0～70Kg） 电旋台竖直使用时的允许负载：7SRA1100≈10 Kg（原为50 Kg）精度不变 7SRA1200≈60 Kg（原为60 Kg不变）精度不变 使用温度：-20～+60℃ 带光栅尺电移台0～+60℃ 真空度：10-6Tor r=1.33x10-4Pa=1.32x10-9atm 电移台的绝对位置精度：甲壳虫系列≈25μm 金牛系列（200行程）≈25μm 负载偏心：当负载作用点偏离中心后，实际允许负载按以下公式计算 实际允许负载F=中心负载/（1+L/d） 式中：L—负载偏心量（mm）,d—如下表 型号 甲壳虫 憨牛或金牛 7STA03（04）400 其他 d 32 42 56 32 电机最大速度：42，57 (1.8°)步进电机750r/min 伺服1