SCR 器件在深亚微米CMOS静电保护电路中的应用 Application of SCR Device in Deep Sup-micron COMS ESD Protect circuit.pdfVIP

第27 卷第5 期 电子 工 艺 技 术 2006 年9 月 Eiectronics Process Technoiogy 277 SCR 器件在深亚微米 CMOS 静电保护电路中的应用 1、2 1 2 江清明 ，罗宏伟 ，周继承 （1. 信息产业部电子第五研究所，广东 广州 510610 ；2 . 中南大学，湖南 长沙 4 10083 ） 摘 要：：CMOS 工艺发展到深亚微米阶段，芯片的静电放电（ESD ）保护能力受到了更大的限 制。因此，对ESD 保护的要求也更加严格，需要采取更加有效而且可靠的ESD 保护措施。针对近 年来SCR 器件更加广泛地被采用到CMOS 静电保护电路中的情况，总结了SCR 保护电路发展过程 中各种电路的工作机理。旨在为集成电路设计人员提供ESD 保护方面的设计思路以及努力方向。 关键词：