PZT陶瓷靶材的制备及相成分分析 Preparation and Phase Analysis of PZT Ceramic Targets.pdfVIP

第28卷第5期 半导体学报 V01．28NO．5 2007年5月 CHINESEJOURNALOFSEMICoNDUCToRS May，2007 PZT陶瓷靶材的制备及相成分分析* 贺鳞翔+ 彭 月4 杨卫明 郑朝丹 于 军 王耘波 (华中科技大学电子科学与技术系微电子研究所，武汉430074) 摘要：采用固相反应法制备了一系列PZT陶瓷靶材，并用XRD对其进行了相成分分析．结果表明，PbO的富足可 以大大抑制PbZr03的分解，还可以抑制焦绿石相的产生，起到稳定钙钛矿相的作用．然而，过量的PbO会使材料 局部区域的相成分发生波动，故而破坏相成分的一致性．此外，对单块的PZT样品进行烧结还会出现陶瓷分层现 象，将多块样品放在一起烧结或采用先进的烧结工艺有利于抑制分层． 关键词：PZT；固相反应；烧结；钙钛矿相；焦绿石相 PACC：7780 中图分类号：TN304．82文献标识码：A 文章编号：0253．4177(2007)05．0711—06 25MPa的压力下压制成形，再将样品放在铺有氧化 1 引言 铝粉的刚玉板上，最后在1200℃烧结2h．烧结成的 PzT铁电陶瓷薄膜是一种重要的电子信息功 后，分析不同Zr，Ti比例对相成分的影响，固定Pb／ 能薄膜，具有优异的铁电、压电、介电及热释电性能， 在诸如压电传感器、红外探测器、铁电薄膜存储器中 都有着广泛的应用．在用物理方法，如溅射、PLD制 0．8：0．2的条件下进行预烧和烧结． 备薄膜的过程中，陶瓷靶材的制备是必不可少的．性 能优良、相成分单一的陶瓷靶材无疑会极大地方便 3测试结果分析 后续工艺的研究．传统制备PZT陶瓷靶材的方法是 固相反应法，这种方法由于其工艺简单、反应效率高 3．1杂相分析 而得到了广泛的应用．然而，在用固相反应法制备 PZT陶瓷的过程中，常常伴随着杂相的出现，如焦 绿石相，PbTi。O，，ZrO。等，另外，陶瓷还易出现局 含量之间的关系，该含量可根据钙钛矿相、ZrO。相 部成分波动或分层现象．这些杂相或是成分的波动、 最强XRD峰的强度来决定，即 变化严重影响了陶瓷靶材的性能．因此，我们根据最 新的研究进展，分析了产生各种杂相的原因，并总结 x u’(1) A一可可万=了了弦而西“2丽高兰端志丽×100％ 出了促进相成分单一的有效途径． 可以看出，在PbO的量较低时，材料上表面中含有 2样品制备 于完美的钙钛矿相．ZrO。的产生主要是由于 由于Zr，Ti以及它们的氧化物在高温下具有 八面体中，Zr—O轨道杂化程度较弱．因而，PbZrO。 较低的平衡蒸气压[1]，故而难于挥发，而PbO在高 温下极易挥发，所以我们首先分析了PbO的挥发对 在高温下不稳定，有如下反应． 靶材相成分的影响．在Zr，Ti比例不变的条件下， PbZr03*-*Zr02+PbO千 所以，在PbO不足的富锆相中，烧结完毕后在陶瓷 按化学计量比1：0．52：0．48称取高纯PbO， 表面会出现一层白色Zr02粉末．由于这是一个可逆 Zr02，Ti02粉末，再分别加入过量0，5mol％， lOmol％，15mol％和20m01％的PbO，混合均匀后过程