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校正翘曲度
校正翹曲度
1.首先放入校正片，凸片與凹片，點選EpiNet-Start
2.選擇EpiNet TT 點選Calibration 鈕，在按RUN MODE鈕開啟下圖
3.將Disc 1、Disc 1加入翹曲度曲線圖，在左邊樹狀視窗按滑鼠右鍵，選additional-Cruve Datance加入曲線圖。
4.點選Disc 1、Disc 1 的Cruve Datance，將其Y4值抄下，關閉視窗。
5. 選擇EpiNet TT 點選Calibration 鈕，點選Add-ons-Curvature進入下圖，將DISK 1、DISK 2校正片翹曲值與Y4的值Key入
6.按下Calculate calibration values鈕，然後按save後離開，即完成校正。
向位校正與α校正
1.更換Susceptor 後需調整DISC 量測向位(校正零點)，先在DISC 1 中心位置放置wafer，蓋下reactor。
2.點選EpiNet-TT Calibration 進入量測模組，點選View (選擇使用者模式)-Advanced mode
3.按下Measure 鈕，藍色部位表示量測到的訊號，粉紅色部份表示捷取訊號。
4.調整向位移動鈕，將第一片disc量測訊號移動到第一個捷取點。
5.打開reactor 將disc 中心片全部放置wafer，蓋下reactot ，按下measure 鈕，將Include(捷取範圍)設為100，調整每個wafer 的起始點(begin)與結束點(end)，使其量測訊號與捷取訊號重疊，在將Include(捷取範圍)設為25，即完成向位零點校正。
6.校正TT 與Curvature 的訊號差，點選Add-ons-Curvature
7.進入Curvature sensor configuration 畫面，粉紅色部份表示捷取訊號，藍色部位表示量測到的Curvature訊號，調整Phase shift，讓量測訊號與捷取訊號重疊，按save後按close離開。
8.回到Calibration畫面按save Table，儲存設定。
9.校正α值，點選EpiNet-Start
10.在控制電腦畫面點選VIEWS-Table-Epitt
11.點選EpiTT.start-Toggle(ON)，EpiSubstrate- Toggle(ON)，等待三分鐘，即完成。
DISK 2
DISK 1
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