白光剪切显微干涉仪.PDF

█ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 計畫名稱 ：白光剪切顯微干涉儀 計畫類別：▓ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號： NSC 94 －2215－E－027－005－ 執行期間：94年08月01 日至95 年07月 31日 計畫主持人：林世聰教授 共同主持人： 計畫參與人員： 鄭翔允、何恭瑄、鄭晏如 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：■精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 ■出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查 詢 執行單位：國立台北科技大學 中 華 民 國 95 年 10 月 26 日 摘要 這個計畫是要去完成一套創新的顯微剪切干涉儀，它的主要特點是二剪切波前的光程差完全由待測物的 輪廓所造成，因此白光可做為它在顯微結構檢測時的光源。本報告對本干涉儀之架設有詳細說明，實驗 的結果也驗證了它的正確性。 關鍵詞：白光、剪切干涉儀 Abstract This project is to contrust a novel shearing interference microscope. The feature of this microscope is it generates sheared wavefronts whose optical path difference is purely induced by the profile of the test object, white light source is thus available while the microscope is adopted for micro-structure detections. In this report, the design of this microscope is described and its validity is verified by use of experimental results. Key Words: White light, Shearing interferometer 前言 白光顯微干涉儀 [1-4]具有量測快速、橫向與縱向解析度高的優點。且因此種干涉儀只有在干涉光的 光程差夠小時才能產生干涉，雜光不會在干涉圖案上形成不必要的條紋或斑點，高