MEMS mirror for low cost laser scanners （MEMS镜子为低成本激光扫描仪）.pdfVIP

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2017-08-06 发布于浙江
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MEMS mirror for low cost laser scanners （MEMS镜子为低成本激光扫描仪）.pdf

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MEMS mirror for low cost laser scanners （MEMS镜子为低成本激光扫描仪）

MEMS mirror for low cost laser scanners Ulrich Hofmann Outline • Introduction • Optical concept of the LIDAR laser scanner • MEMS mirror requirements • MEMS mirror concept, simulation and design •fabrication process •first results • summary and outlook Introduction Goals of the LIDAR sensor development: • range: 80 m •field of view: 250 degrees • compact size: 6 cm x 6 cm x 8 cm • low cost: 40 € LIDAR sensor optics concept LIDAR sensor optics concept omnidirectional lens 2D-MEMS mirror MEMS mirror requirements 1. large mirror aperture size of 7mm MEMS mirror requirements 1. large mirror aperture size of 7mm 2. two-axis laser beam deflection MEMS mirror requirements 1. large mirror aperture size of 7mm 2. two-axis laser beam deflection 3. circular scan pattern = constant azimuth angle MEMS mirror requirements 1. large mirror aperture size of 7mm 2. two-axis laser beam deflection 3. circular scan pattern = constant azimuth angle 4. large tilt angle of 15 degrees in both axes MEMS mirror requirements 1. large mirror aperture size of 7mm 2. two-axis laser beam deflection 3. circular scan pattern = constant azimuth angle 4. large tilt angle of 15 degrees in both axes 5. low static and dynamic mirror deformation MEMS mirror requirements 1. large mirror aperture size of 7mm 2. two-axis laser beam deflection 3. circular