xFe-Al2O3颗粒薄膜的XRD分析和GMR效应.pdf

艾尔肯·阿不列木 等：xFe-Al O 颗粒薄膜的XRD 分析和GMR 效应 637 2 3 xFe-Al O 颗粒薄膜的XRD 分析和GMR 效应 2 3 ∗ 艾尔肯·阿不列木，甫尔开提·夏尔丁，哈里木拉提·阿扎提 （新疆大学物理系，新疆 乌鲁木齐 830046 ） 摘 要：对rf 溅射法制备的xFe-Al O 颗粒薄膜，应 为5Fe-Al O ,7Fe-Al O 和10Fe-Al O 三种薄膜样品。 2 3 2 3 2 3 2 3 用 X 射线衍射仪 （XRD ）进行了测试和分析，推算 溅射法所用的氩气Ar 的压力是6Pa ，rf 功率是150W 。 了不同样品中Fe 粒子的大小和元素面积比。并使用 用X 射线衍射仪 （CuKa 射线）观察了以上三个样品 4 探针外加磁场法对薄膜的巨磁阻效应进行了分析和 在20～120o范围时的晶体结构。巨磁阻(GMR ：Giant 讨论。当Fe 面积比约为25%时，样品的磁电阻率在 magnetoresistance)特性曲线是使用四探针法外加磁 1.5T 磁场下可达-2.3% 。 场为(0 ±1.5T)条件下测定的。 关键词：溅射法；颗粒薄膜；巨磁阻；X-射线衍射 中图分类号：TM277 文献标识码：A 3 结果分析 文章编号：1001-7931 （2004 ）增刊 通过用XRD 法测量所得的大角度衍射谱线分布 1 引 言 （见图1）中可观察到强度不同系列的衍射峰。这些 峰说明样品具有很好的周期性结构和 a-Fe 相，并对 近年来，随着非晶态材料某些优异性能的发现， 应于不同的原子间距[3]和不同的径向（由JCPDS 表查 非晶材料的结构及其对性能影响的研究取得了很大 得）。在布喇格角2 θ为44.64°时出现的稍尖锐的衍 的发展。对纳米颗粒磁性材料、磁性多层薄膜的GMR 射峰，表明 Fe 原子间具有近程序结构。其布喇格角 特性的研究十分活跃[1,2] 。巨磁阻材料在高密度记录、 所对应的几个峰，说明Fe 原子间具有中程序结构。 磁传感器等诸多磁电子学方面具有很大的应用潜力。 即有某种重复结构基元。我们通过对第一个峰的峰 对用溅射法制备的各种颗粒薄膜的研究也比较广泛。 位、峰宽和强度等峰参数的分析以及采用晶粒形状不 目前对纳米颗粒磁性材料、磁性薄膜以及铁氧化物薄 为正六面体时的劳埃积分宽度公式β κλ/ Dcos θ[3] 膜的制备、分析及其研究，主要是以溅射法制备样品 （ 为谱线半高宽度，D 为晶粒尺寸， 为入射X 射 β λ 为主，X 射线衍射 （XRD ）技术仍是传统而广泛流行 线波长，κ是近于 1 的系数，由晶粒形状和尺寸分布 的方法。因此，本文使用至今广泛采用的溅射法制作 规律决定）计算了5Fe 、7Fe、10Fe 三个样品的结晶 了xFe-Al2O3 系列颗粒薄膜，并用广角度 XRD 法研 尺寸分别为 3.5nm 、5.2nm 和 10.5nm。xFe-Al2O3 样 究了xFe-Al2O3 系列样品的晶体结构。通过测定其磁 品中各元素