序加实验理论模型误差修正的研究 - 物理学报.PDFVIP

第卷第期 年月 ５９ ４ ２０１０ ４ 物　 理　 学　 报 Ｖｏｌ．５９，Ｎｏ．４，Ａｐｒｉｌ，２０１０ １０００３２９０／ ２０１０／ ５９ ０４ ／２　３５００６ （） ＡＣＴＡ ＰＨＹＳＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ ２０１０ Ｃｈｉｎ．Ｐｈｙｓ．Ｓｏｃ．  序加实验理论模型误差修正的研究 郭春生 单尼娜冯士维马卫东　 　 　 （北京工业大学电子信息与控制工程学院，北京 ） 　 １００１２４ （２００９ 年７ 月１３ 日收到；２００９ 年８ 月６ 日收到修改稿） 　 　 针对序进应力加速实验理论模型中数学算法的误差，提出一种新的计算模型，新模型利用计算机编程辅助计 算，显著地减小了模型误差．利用新、旧模型算法对理论数据进行计算，表明原模型算法存在１３％ 以上的激活能计 算误差以及１５０％以上的寿命计算误差（Ｑ １０ ｅＶ），而新模型算法可以将激活能误差控制在１％ 以内，寿命计算 ≤ 误差控制在 以内 －４１％ ． 关键词：加速实验，序进应力，理论模型，误差修正 ＰＡＣＣ：０６２０Ｄ，８２２０Ｍ，８１６０ １ 引 言 ２ 理 论 随着科学技术和工艺水平的不断发展，半导体 半导体器件参数的退化是由于器件表面、体内 器件的可靠性水平越来越高如何在较短时间内对． 及金属化系统的物理和化学变化引起的，当这种退 这些高可靠水平的器件进行评价，及时提供相关的 化积累到一定程度时器件即发生失效，退化经历的 ［１，２］ 时间即产品的寿命温度可以改变物理、化学反应． 可靠性信息，就成为一个急需解决的问题 ． 速率，因此提高温度应力可以加速半导体器件多种 加速实验正是为了满足这种需要而产生的根． 据应力施加方式的不同，加速实验分为恒定应力、 失效过程，如二次慢俘获、腐蚀、表面电荷扩散、相 ［３，５，６］ 步进应力和序进应力加速实验．恒定应力加速实验 互扩散、电迁徙、应力迁徙、蠕变等退化过程 ． 故温度常用作寿命实验中的加速应力． 理论模型成熟，实验相对简单，应用相对广泛，但其 反应速率与温度的关系常用Ａｒｒｈｅｎｉｕｓ 模型来 实验时间也相对较长随着产品可靠性的持续提． 模拟，考虑到器件参数的退化还与施加的电流应力 高，恒定应力加速实验开始不能完全满足快速评价 和电压应力有关，文献［，，］中建立的序进应力 ４ ７ ８ 产品可靠性的要求步进、序进应力加速实验相对． 加速模型一般为 恒定应力加速实验时间更短，效率更高，但其计算 ［３，４］ ｄＭ ｎ ｍ Ｑ 模型不完善 ，误差较大，制约了其应用．