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精密、超精密加工与测试 Precision and Ultraprecision Machining and Testing 目 录 第一章 概论 第二章 机床误差与热变形机理 第三章 机床误差综合数学模型 第四章 机床误差检测与温度测点布置技术 第五章 误差元素建模技术 第六章 补偿控制系统 第七章 车削中心热误差实时补偿应用实例 第八章 数控双主轴车床几何误差和热误差综合实时补偿应用实例 第一章 概 论 1.1 数控机床误差补偿技术研究的意义1.2 数控机床误差补偿的基本概念 1.2.1 误差补偿基本概念 1.2.2 误差补偿技术基本特性 1.2.3 误差补偿技术基本内容 1.3 数控机床误差补偿技术的历史 1.2 数控机床误差补偿的基本概念 误差补偿技术（Error Compensation Technique，简称ECT）是由于科学技术的不断发展对机械制造业提出的加工精度要求越来越高、随着精密工程发展水平的日益提高而出现并发展起来的一门新兴技术。 实践与分析表明，当加工精度要求高于某一程度后，利用误差防止技术即提高机床本身零部件的制造和装配精度来提高加工精度所花费的成本净按指数规律增长。而误差补偿技术主要使用软件方法，既成本低又柔性强。通过误差补偿技术的实施，可以在精度不很高的机床设备上加工出高精度的工件，而避免化大价钱购买高精度机床，因此花费成本较低。所以，误差补偿技术不但适合于新机床的精化，以提高技术含量和使用功能，也适合于老机床改造，以降低废品率和提高使用性能。 1.2.2 误差补偿技术基本特性 误差补偿技术具有两个主要特性：科学性和工程性。 科学性：误差补偿技术的迅速发展极大地丰富了精密机械设计理论、精密测量学和整个精密工程学，成为这一学科的重要分支。与精度补偿相关的技术有检测技术、传感技术、信号处理技术、光电技术、材料技术、计算机技术以及控制技术等。作为一门新技术分支，精度补偿技术具有自己的独立内容和特色。进一步研究精度补偿技术，使其理论化、系统化，将具有非常重要的科学意义。 工程性：误差补偿技术的工程意义是非常显著的，它包含三层含义：其一是，采用精度补偿技术可以较容易地达到“硬技术”要花费很大代价才能达到的精度水平，如一台普通的三坐标测量机空间坐标测量的最大综合误差为?40?m，经精度补偿后，其最大综合误差降为?4?m；其二是，采用精度补偿技术，可以解决“硬技术”通常无法达到的精度水平，如现代天文望远镜和X射线显微镜的圆度要求达?5.0nm，这首先要求测量仪器的准确度应优于?2.0nm。事实上，目前圆度仪主轴回转精度还只能达到?20.0nm，这在目前情况下，对精密轴系的加工能力已接近极限水平，“硬技术”已几乎无能为力。而采用误差分离技术和补偿技术消除掉圆度仪轴系的回转误差中的系统分量之后，其残余回转误差便可小于?2.5nm；其三是，在满足一定的精度要求情况下，若采用精度补偿技术，则可大大降低仪器和设备的制造成本，具有非常显著的经济效益及社会效益。 1.2.3 误差补偿技术基本内容 机床误差补偿技术可分为下面六个基本内容： 1.误差及误差源分析； 2.误差运动综合数学模型的建立； 3.误差检测； 4.温度测点选择和优化布置技术； 5.误差元素建模技术； 6.误差补偿控制系统及实施； 7.误差补偿实施的效果检验。 1.3 数控机床误差补偿技术的历史 最早发现机床热变形现象并进行研究的国家之一是瑞士。1933年，瑞士通过对坐标镗床进行测量分析后发现机床热变形是影响定位精度的主要因素。30、40年代，各国有关学者对各种机床热变形的研究侧重对机床热特性作实用性改进。大约在50年代，开始了误差补偿，如用螺距校正尺刚性补偿丝杆车床母丝杆螺距误差。60年代，研究者们就机床热性能进行了很多研究，企图用解析和数字（有限元）方法来计算机床结构的热膨胀与变形。70年代初，研究人员使用FEM（有限单元法）进行机床热变形计算和机床优化设计。70年代中期，Schultschick用矢量法建立了三轴坐标镗床的空间误差模型，Hocken用多维误差矩阵模型提高了三维坐标测量机的测量精度。70年代后期，出现了机床热变形的数控补偿技术。日本提出一种主轴热变形补偿方法，即预先求出温度和热变形关系式，通过机床滑块的移动进行补偿。到了80年代初期，误差补偿技术已成功地用于坐标测量机上。 RTEC（Real-Time Error Compensation）Systems Developed by UM Self-Calibration - Experiment 6 joints 24 error components 机器