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CVS原理简述
CVS原理简述
1
分析有机添加剂
Cyclic
Voltammetry
Stripping
循环伏安剥离法
2
添加剂的影响
• 板面铜粒 • 分散能力
• 树枝状结晶 • 光亮度
• 烧焦 • 麻点、氢气泡斑
• 晶须 • 表层下腐蚀
3
CVS设备
CVS 设备包括以下几个部分:
• 稳压器
• QL-5E/QL-10E 测量平台
• 旋转铂金电极,其工作面积为0.125 cm2
• 十字岔管接头的 Ag/AgCl 的参比电极内含0.1 M 的 KCl
• SS 316 辅助电极
• 全自动高精度注射器添加系统
4
CVS 槽工作示意图
• 工作电极与 工作电极与
参比电极之 辅助电极之
间的控制电压 间的测量电流
参比电极
工作电极(铂金电极) 辅助电极(铜/不锈钢电极)
5
循环伏安剥离法
• 工作电压
上限 4 8
3
0 1 5 7
下限 2 6
6
酸铜伏安扫描曲线
• E
7
酸铜镀液伏安扫描曲线
1. 从较高 的氧化电位开始,清洁铂金电极表面(2);
2. 经过表面活化区域(3),活化表面;
3. 铜离子开始电镀(4) ;
4. 在电镀过程中,扫描电压将达到负值极限(5);
5. 通过负电压区域,电镀速率慢慢减小至0(6),同时
铂金电极表面开始剥离;
8
酸铜镀液伏安扫描曲线
6. 通过一个剥离区域(正电流),铜开始剥离,很快
电流降低为0(7)。(剥离电流在开始剥离后很快
结束);
7. 测量一些可氧化的杂质引起的干扰电流,可以测量
其相对的浓度;
8. 测量一些可氧化的离子如氯离子引起的额外
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