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七星电子流量计CS200产品使用手册(A,C,D)(profibus0-20ma)(su)
REV. 2.3
CS 系列 200-A,C,D 型 气体质量流量控制器/质量流量计
使 用 手 册
2013.06
目 录
第一部分 产品说明 3.2 控制方式 20
1.1 声明 1 3.3 调零 20
1.2 使用须知 2 3.4 软启动 20
1.3 安全注意事项 2 3.5 延迟 21
1.4 概述 3 3.6 阀控制 21
1.5 技术指标 4 3.7 阀类型 21
1.6 标定 5 3.8 多气体多量程 21
1.6.1 标准状况 5 3.9 累积流量 21
1.6.2 制造环境 5 3.10 报警 22
1.6.3 精度调节 5 3.11 LED 指示灯 22
第二部分 安装 第四部分 维护
2.1 概述 6 4.1 概述 23
2.2 打开包装 6 4.2 注意事项 23
2.3 机械安装 6 4.2.1 介质使用要求 23
2.3.1 概述 6 4.2.2 阀口密封问题 23
2.3.2 安装 13 第五部分 故障诊断
1/4 ″VCR 接头安装方法 13 5.1 初步检查 23
双卡套接头的安装方法 14 5.2 故障检查 24
2.4 电气安装 14 第六部分 保证和服务
2.4.1 概述 14 6.1 七星电子有限保证 25
2.4.2 连接 15 6.2 产品保证 25
2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 17 6.3 服务 26
2.5 工作检查 20 6.4 免责声明 26
第三部分 功能介绍 附录Ⅰ 27
3.1 概述 20 附录Ⅱ 30
MASS FLOW CONTROLLER MASS FLOW METER
气体质量流量控制器和质量流量计
使 用 手 册
第一部分 产品说明
1.1 声明
《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公
司( 以下简称“七星电子”)专有。如无七星电子的书面许可，不得部分或全部影印本使用手
册。本手册已经严格审校，但不保证手册中不含错误与遗漏，出版商不承担任何由于错误或
遗漏的责任，亦不承担由于使用本手册中的信息所导致的损失的任何责任。
北京七星华创电子股份有限公司
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