标准模板二.PDFVIP

标准模板二 我们可提供纳米级微结构，衬底材料为硅单晶，广泛应用于科学研究。批量生产，质量有保 证，且性价比高。 产品精度： 产品说明：  直径±10%  硅片厚度：0.5mm （特殊情况另标注）  线宽±10%  模板尺寸：产品规格+/-0.2mm  高度/深度±15%  缺陷面积：1% 具体规格如下表所示： Linear Gratings （光栅结构） Part No Description Image Line grating Period: 70 nm Width: 25 nm Height: 32 nm Pattern 9 Area: 21x 0.5 x 1.2 mm2 Substrate: Si 10 x 10 mm2 Line grating Period: 120, 150, 200 nm Width: 60, 75, 100 nm Pattern 34 Height: 115 nm Area: 2 x 2 mm2 each Substrate: Si 20 x 20 mm2 Line array Period: 150 nm Width: 75 nm Pattern 35 Height: 116 nm Area: 15 x 15 mm2 Substrate: Si 15 x 15 mm2 Line grating Period: 300 nm Pattern 2 Width: 170 nm Height: 210 nm Area: 30 x 30 mm2 Substrate: Si 30 x 30 mm2 北京汇德信科技有限公司 GermanTech Co., Ltd 1 北京海淀区学院路 30 号天工大厦 B 座 1408 室 邮编：100083 Tel: 0086-1021/22-116赵璐 Fax: 0086-10 email: lzhao@ Line grating Period: 410 nm Linewidth: 170 nm Pattern 38 Height: 110 nm Area: 10 x 12 mm2 Substrate: Si 4 Line grating Period: 550 nm Width: 288 nm P