原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
非平衡磁控溅射沉积TiNTiO复合薄膜机械性能研究.pdf
第28卷增刊 真空科学与技术学报
2008年5月 CHINESE OFVACUUMScIENCEANDTECHNOI_oGY 47
JOURNAL
非平衡磁控溅射沉积TiN／Ti—O
复合薄膜机械性能研究
何婵1齐峰1冷永祥1，2。黄楠1·2
(1．西南交通大学材料科学与工程学院成都610031
2．西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室成都610031)
Mechanical ofTiN／Ti—O FilmsGrown
Properties Composite
Unbalanced
by MagnetronSputtering
‘He Nanl，2
Chanl，Qi
Fen91,LengYongfiau91，孙，Huang
(1．hootofMau,rials4en傥Engi咄，sD埘l删Jiaotong
University，秭啦610031，Ch／na；
2．研Lab．加AdvancedTechno／og／esofMater／abofM／n矗tryofE如cat／on，SouthwestJ／aowng‰毋，秭吼础610031，优舰)
AbstractTheTiN／Ti—O filmswere unbalanced Oil
composite depositedby magnetron
sputtering
titanium of
micmstructuresandmechanical thefilmswerecharacterizedwith
alloy(Ti6A14V)substrates．The properties
X·瑚ly electron conventionalmechanical resultsshowthat
diffraction(XRD)，scanningmicroscopy(SEM)and probes．The
of
thefilm conditionsaffectthemechanical oftheTi—O on theTiN-coveredTisub．．
growth strongly properties layerstop
strates．For TiN／Ti—O films excellentmechanical Ti was
the
example，the compositedisplay properties，whenmonolayer
first OilTiNfilmsundertheconditionsthatthe flowrate to0sccm
decreased and
grown nitrogen sl
文档评论（0）