浅谈微压力传感器.PDFVIP

浅谈微压力传感器 工控摘要：大家都听过微压传感器吗，在微传感器中，微压力传感器是一个很重要的分 支，对于微压力传感器来说，更能体现传感器的灵敏度和线性度。下面是一些具体的介绍。 微压传感器的工作原理风压传感器的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介 质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输 出一个对应于这个压力的标准信号。 灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需 求的压力传感器，必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种 基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法，从而实 现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计，在此基础上对压力传感 器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。微压传感器发展迅速，新研制出的一类传感器由于采 用压电单晶片结构，并内置前置放大器，放大微弱信号并实现阻抗变换，从而使传感器具有 量程小、灵敏度高、抗干扰性好等特点。这类传感器已广泛用于脉搏、管壁压力波动等微小 信号的检测，因此，迫切需要一种简便的测量装置测量传感器的性能。 为了解决微压力传感器灵敏度和非线性的矛盾，在结构上，综合梁膜结构与平膜双岛结 构的优点，采用双岛-梁结构。岛区的面积不是按比例放大或缩小。首先，为了增加灵敏度， 应尽可能减小窄梁区的长度和宽度。因为从对梁-膜-岛结构的有限元分析和近似解析分析中 发现，减小窄梁区的长度和宽度可以明显地使梁上的应力增大。并且当中间窄梁的长度约为 两边窄梁长度的2倍时，器件的线性度最好。虽然有双岛限位结构，但在高过载情况下，硅 膜将首先从岛的边区和角区破裂。这是因为传统的岛膜结构都是采用常规的有掩模的各向异 性湿法腐蚀，从硅片背面形成硅膜和背岛。硅膜是晶面，边框和背大岛侧面都是晶面，夹角 为54.74°的锐角。根据力学原理，在角区存在应力集中效应，使硅膜在正面或背面受压以后， 角区会具有应力的极值，因此破裂首先从该处发生。引入应力匀散结构以后，使角区变成具 有一定曲率的圆角区，使该区的应力极值下降。在硅膜与边框或背岛的交界处要形成有一定 曲率半经的缓变结构，采用一般的常规各向异性湿法腐蚀是无法实现的。为此，采用了掩模 -无掩模各向异性湿法腐蚀技术。 微压力传感器是工业实践中最为常用的一种压力传感器，其广泛应用于各种工业自控环 境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、 油井、电力、船舶、机床、液压机械、除尘设备等众多行业。微压力传感器具有广泛的用途， 目前微压力传感器的量程还不够小，灵敏度和线性度也不是很好，所以微压力传感器还不能 得到很好的应用，随着科技的发展，微压力传感器的应用前景将会进一步拓展。